상세 정보 |
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재료: | 사파이어 기판 | 배향: | C-주축 |
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두께: | 0.725 밀리미터 (다른 두께 승인) | 표면: | DSP |
TTV: | <3um | 활: | <15um |
날실: | <30um | 패키지: | 진공 패키지에 의한 100 등급 세척실 |
특화하세요: | 받아들일 수 있습니다 | 두께 톨란스: | ±15um |
애플리케이션: | 반도체 식각 에피택시 | 형태: | std 눈금으로 |
하이 라이트: | 200 밀리미터 SOI웨이퍼,에피 에칭 SOI웨이퍼,에피 에칭 사파이어 빛의 플레이트 |
제품 설명
C-주축 (0001) 눈금 DSP 사파이어 기판과 배향 12 인치 직경 300 밀리미터가 두께 1.5 밀리미터 C-어를 웨이퍼로 만듭니다
방향성 부분을 위한 전형적 선택 :
왜 사파이어 빛입니까?
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0˚ : 견해의 방향은 크리스탈의 광학적 축과 평행합니다
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90 급 : 견해의 방향은 크리스탈의 광학적 축과 직각입니다
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C-주축 : 로드에, 그것의 길이를 따라 방향. 기간, 맞대놓고 수직 방향에서.
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M-비행기 : A-주축에 광학 축 (C)를 포함하고 30 도를 기울인 비행기
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A-비행기 : C-주축을 포함하면서, A-주축과 직각인 비행기
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R-비행기 : 비행기는 M-비행기로서 동일 영역에서 광학 축으로 57.5667 도 기울었습니다.
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임의 : 부품과 결정 배향 사이의 어떤 규정된 관계가 없습니다. 부분은 배향에 대해 걱정없이 제조됩니다.
2 인치 c-주축 웨이퍼를 위한 세부 사항
분류하세요 :6 인치 DSP--C-주축
재료 : 버블 없는 KY 사파이어 Al2O3 단일 결정 ;색 ;
배향 :C-삭감, 0.0+/-0.2'에서 떨어져 있는 M-주축 ;
지름 : 155.75 +/-0.2mm ;
두께 :0.725 ± 20 um ;
OF 플랫 : a-주축에 있는 STD 눈금 OR 라운드 형상
OF 배향 : a-주축
서피스 : 에피레디인 SSP /dsp는 광택이 났습니다 ;
TTV<>
전면 거칠기 (Ra) Ra <>
뒷 표면 거칠기 (Ra) Ra = 0.3 +/-0.2um ;
비스듬히 나아가세요 : 1 밀리미터로부터 ;
기준 웨이퍼
2 인치 씨 플레인 사파이어 웨이퍼 SSP / DSP
3 인치 씨 플레인 사파이어 웨이퍼 SSP / DSP 4 인치 씨 플레인 사파이어 웨이퍼 SSP / DSP 6 인치 씨 플레인 사파이어 웨이퍼 SSP / DSP |
특별 방향
A-비행기 (1120년) 사파이어 웨이퍼 R-비행기 (1102년) 사파이어 웨이퍼 M-비행기 (1010년) 사파이어 웨이퍼 A-주축 또는 M-주축을 향하여, 0.5' ~ 10' 오프컷과 C-주축 다른 주문 제작된 배향 |
주문 제작된 사이즈
10x10x0.5mm 사파이어 웨이퍼 20x20x0.5mm 사파이어 웨이퍼 극단적 가는 (100um) 2 인치 사파이어 웨이퍼 8 인치 사파이어 웨이퍼 |
무늬가 있는 사파이어 기판 (PSS)
2 인치 씨 플레인 PSS 4 인치 씨 플레인 PSS |
2 인치 |
DSP c-축 0.1mm/ 0.175 mm/0.2mm/0.3mm/0.4mm/0.5mm/1.0mmt |
3 인치 |
DSP/ SSP C-주축 0.43 mm/0.5mm |
4Inch |
dsp c-주축 0.4mm/ 0.5 mm/1.0mm |
6 인치 |
스스피 c-주축 1.0 mm/1.3mmm |
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