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상세 정보 |
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| 소재: | 사파이어 싱글 크리스탈 | 배향: | A 평면/C 평면/M 평면/R 평면 |
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| 서피스: | ssp 또는 dsp 1sp/2sp | 두께: | 0.1mm 0.17mm 0.2mm 0.43mm 또는 맞춤형 |
| 적용: | 에피여서 이르렀습니다 | 성장법: | KY |
| Ra: | <0> | TTV: | 10 um |
| 활: | -15um~0 | 날실: | <15um> |
| OF 길이: | c축에서 16±1mm는 다이미터에 따라 다름 | ||
| 하이 라이트: | 주축 사파이어 웨이퍼,4 인치 사파이어 웨이퍼,주축은 사파이어 웨이퍼를 닦았습니다 |
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제품 설명
2inch /3inch 4inch /5inch/6inch C-axis/a axis/ r axis/ m-axis 6"/6inch dia150mm C-plane Sapphire SSP/DSP wafers with 650um/1000um Thickness2inch 4inch customized A axis sapphire wafers for epitaxial growth 430um SSP DSP
합성 사피르 결정에 대해
덜 불균형 된 격자 및 안정적인 화학 및 물리적 특성으로 인해 사파이르 ((Al2O3) 웨이퍼는 III-V 질산, 초전도 및 자기 에피 필름의 인기있는 기판입니다.그들은 널리 GaN 및 얇은 필름의 대피성 성장에 사용됩니다., 사피어에 실리콘, LED 시장 및 광학 산업.
ZMSH는 99.999%의 고순도 단일 결정 닦은 사피르 웨이퍼를 제조하는 전문 사피르 웨이퍼 공급 업체입니다.그리고 우리의 사파이어 (Al2O3) 기판은 탁월한 표면 완성도를 가지고 있습니다, 이것은 LED의 주요 매개 변수입니다.
신뢰할 수 있는 사파이어 웨이퍼 공급자를 찾고 있다면, 저희에게 연락하십시오.
A-PLANE (11-20) SAPHIRE WAFERS에 대한 사파이어 특성
평면 (11-20) 사파이어 웨이퍼는 균일한 변전체 상수와 고도의 절연 특성을 가지고 있으므로 일반적으로 하이브리드 마이크로 전자 응용 프로그램에 사용됩니다.이 방향은 또한 높은 초전도체의 성장에 사용될 수 있습니다.
예를 들어, TlBaCaCuO (TbBaCaCuO), Tl-2212, 이성 대동성 초전도 얇은 필름은 사파이르 세리움 산화물 (CeO2) 복합 기판에 재배됩니다.앵그스트롬 평면 표면 완공의 가용성은 하이브리드 모듈의 얇은 라인 상호 연결을 허용합니다..
| 항목 | 2인치 A 평면 (11~20) 430μm 사파이어 웨이퍼 | |
| 크리스탈 물질 | 991,999%, 고순도, 단결성 Al2O3 | |
| 등급 | 프라임, 에피 준비 | |
| 표면 방향 | A-비행성 (11-20) | |
| 직경 | 50.8mm +/- 0.1mm | |
| 두께 | 430 μm +/- 25 μm | |
| 기본 평면 방향 | C 평면 (0001) +/- 0.2° | |
| 기본 평면 길이 | 160.0mm +/- 1.0mm | |
| 단면으로 닦은 | 앞면 | 에피 폴리싱, Ra < 0.5 nm (AFM) |
| (SSP) | 뒷면 | 얇은 땅, Ra = 0.8μm ~ 1.2μm |
| 두면으로 닦은 | 앞면 | 에피 폴리싱, Ra < 0.5 nm (AFM) |
| (DSP) | 뒷면 | 에피 폴리싱, Ra < 0.5 nm (AFM) |
| TTV | < 10μm | |
| BOW | < 10μm | |
| WARP | < 10μm | |
| 청소 / 포장 | 100급 청정실 청소 및 진공 포장 | |
| 25개의 카세트 패키지 또는 1개의 패키지 | ||
참고: 어떤 방향과 두께를 원하는 사파이어 웨이퍼와 기판을 제공 할 수 있습니다.
| 2인치 |
DSP C-AXIS 0.1mm/ 0.175mm/ 0.2mm/ 0.3mm/ 0.4mm/ 0.5mm/ 1.0mmt SSP C축 0.2/0.43mm (DSP&SSP) A 평면 (1120) 사파이어 웨이퍼
R 평면 (1102) 사파이어 웨이퍼 M 평면 (1010) 사파이어 웨이퍼
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| 3인치 |
DSP/SSP C축 0.43mm/0.5mm
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| 4인치 |
dsp c축 0.4mm/0.5mm/1.0mm ssp c축 0.5mm/0.65mm/1.0mmt
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| 6인치 |
ssp c축 1.0mm/1.3mm
dsp c축 0.65mm/0.8mm/1.0mmt
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