쿼츠 웨이퍼 보트 고순도 및 고온 저항성 사용자 정의

제품 소개

웨이퍼 보트 (wafer boat) 는 보트 또는 캐리어로도 알려져 있으며, 웨이퍼를 보유, 전송 및 위치시키는 반도체 제조에서 중요한 도구입니다.높은 온도 (> 1000°C) 와 같은 극한 조건에 견딜 수 있도록 설계, 화학적 부식 및 정전 전압 방출 (ESD) 을 통해 다양한 공정에서 웨이퍼 안전성을 보장합니다.

원칙

- 네정렬 및 고정:
배의 위치 구멍은 웨이퍼 카세트에있는 핀과 정렬되어 수동 조작 없이 팩 전송을 가능하게합니다.
이중층 슬롯 (상단과 하단) 은 열순환 (예를 들어, 굽기) 도중 웨이퍼를 고정한다.

- 네열 스트레스 관리:
낮은 열 확장 물질 (0.5×10−6/°C) 은 온도 변동에 따라 warpage를 최소화합니다.
꿀집 구조는 열 스트레스를 균등하게 분배합니다.

프로세스 호환성:
슬롯 기하학 (예를 들어, I형, V형) 은 가스 단계 반응 물질 흐름을 보장하면서 다양한 웨이퍼 두께 (300~800μm) 를 수용합니다.
다이아몬드 모양의 가로 절단으로 양방향 로봇 로딩이 가능해 질 수 있습니다.

안전 및 보호:
버퍼 구성 요소 (프링, 고무 패드) 는 웨이퍼 배치 과정에서 기계적 충격을 흡수합니다.
질소 정화 는 잔해 를 제거 하여 오염 을 방지 한다

특징

녹인 실리카 유리 는 실리콘 이산화 (SiO2) 로 만든 전문 산업 유리 이다. 뛰어난 물리적 및 화학적 특성을 가진 예외적인 기본 재료로 작용 한다.

• - 네고온 저항성:

부드러운점: ~ 1730°C
1100~1250°C에서 지속적으로 작동하고 1450°C까지 단기 노출에 견딜 수 있습니다.

• - 네화학적 무력성:

대부분의 산 (화수산을 제외한) 에 내성이 있다.
진열 저항력은 세라믹보다 30배나 스테인리스보다 150배나 높습니다.
극심한 열 조건에서 안정성을 유지하여 다른 재료보다 더 잘합니다.

• 열 안정성:

극히 낮은 열 팽창 계수 (~ 5.5×10−7/°C)
열 충격 (예: 1100°C까지 가열하고 물에서 꺼내는) 을 견딜 수 있습니다.

• - 네광학 투명성:

자외선 (UV) 에서 적외선 (IR) 으로의 광범위한 스펙트럼 전송.
가시광선 투명성: > 95%
자외선 송출량은 185~250nm 범위에서 85% 이상입니다.

• - 네전기 단열:

저항성은 일반 유리보다 10,000배나 높습니다.
높은 온도에서도 뛰어난 변압성 성질을 가지고 있습니다.

신청서