왜 실리콘 웨이퍼 는 평평 하거나 톱니가 있습니까?

집적 회로와 반도체 장치의 기초인 실리콘 웨이퍼는 흥미로운 특징을 가지고 있습니다. 납작한 가장자리 또는 옆구리에 작은 틈이 있습니다.이 작은 세부 사항은 실제로 웨이퍼 취급과 장치 제조에 중요한 목적을 가지고 있습니다.대표적인 웨이퍼 제조업체로서 우리는 종종 묻습니다.우리는 평면과 크치의 기능을 설명하고 몇 가지 주요 차이에 대해 논의합니다.

*평평한 웨이퍼를 찾고 계십니까? 우리는 표준 및 사용자 정의의 폭이 있습니다.실리콘 웨이퍼를 통해 온라인으로 주문 할 수 있습니다.웨이퍼프로- 정밀한 SEMI 표준 평면, 톱니, 그리고 당신의 실리콘 필요에 맞게 맞춤형 평면.

평면 과 톱니 의 역할

실리콘 웨이퍼민감하고, 기기 제조 과정에서 정확하게 다루어야 합니다.평면 및 틈은 기계가 주요 표면과 접촉하지 않고 안전하게 웨이퍼를 잡을 수있는 장소를 제공합니다.이 방식 은 가공 도중 값진 웨이퍼 표면 을 손상 이나 오염 으로부터 보호 합니다.

반도체 산업에서 사용되는 두 가지 주요 유형이 있습니다.

• 평면 - 이것은 둥근 웨이퍼의 측면에 잘라 정면 가장자리입니다
• 톱니 - 웨이퍼의 둘레에 V 모양의 작은 톱니

처리하는 기계실리콘 웨이퍼제조 장비에서 운송 및 정렬을 위해 평면 또는 톱니를 단단히 잡기 위해 특별히 설계된 최종 효과 장치가 있습니다.집착 영역은 통합 회로를 구축하는 최대 표면 영역을 허용하기 위해 매우 최소로 유지됩니다.

이것은 제조 라인에서의 공정 장비 사이의 자동화되고 안전한 웨이퍼 이동을 허용합니다.사업자는 또한 카세트 컨테이너에서 로딩 또는 배하를 할 때 평면 / 인치에 의해 조심스럽게 웨이퍼를 수동으로 취급 할 수 있습니다..

왜 평면 과 톱니가 있습니까?

평면 또는 크치의 비대칭은 웨이퍼 제조에 중요한 정렬 기능을 수행합니다.이것들 없이는, 웨이퍼를 안정적으로 방향화하고 다이 위치를 지도로 그리는 방법이 사실상 없을 것입니다.

정렬 및 지도

실리콘 웨이퍼크리스탈의 원자 구조는 특정 평면과 방향에 맞춰져 있습니다.

평면과 톱니가 사용되어 이 결정 평면과 축의 지점을 정한다.둘레의 비대칭성으로 인해 엔지니어들은 필요한 <110> 또는 <100> 결정 방향에 정확하게 정렬할 수 있습니다.

이러한 방향 정렬은 웨이퍼에서 최종 칩 장치에 대한 적절한 매핑을 보장합니다.마스크와 장비는 웨이퍼 표면의 특정 사이트를 목표로 구조물을 구축하고융합 회로.부적절한 정렬은 이 장치들을 쓸모 없게 만들 수 있습니다!

처리 및 안전

이미 언급 된 바와 같이, 평면 / notches의 모양은 제조 장비에 의해 안전한 조작을 허용합니다.접촉웨이퍼 표면

이러한 접촉은 기능성을 파괴하는 오염의 위험을 초래합니다.둘레에 있는 잡기 위치에서 이 오염을 피하고 동시에 웨이퍼를 더 잘 보호합니다.

또한, 엔지니어 들 은 일반적으로 날카로운 모서리와 가장자리를 피 할 때실리콘 웨이퍼 같은 재료평평하고 둥근 톱니날카로운 가장자리를 사용하는 것과 비교하면 균열이나 깨지는 것을 완화합니다.

평면 또는 톱니가 장치 제조를 위한 공간을 확보하는 동시에 핸들링 안정성을 극대화합니다.

웨이퍼 플래트 대 웨이퍼 노치

평면과 톱니 둘 다 같은 역할을 성공적으로 수행합니다. 왜 두 가지 유형이 있을까요?

평면 은 둘레 에서 더 많은 공간을 차지 하지만 더 크고 곧게 잡히는 표면을 제공한다. 톱니가 더 작지만 안전한 꼭대기 잡기 지점을 제공한다.

산업의 진화에 근거한 역사적 이유도 있습니다.초기에, 평면은 웨이퍼 기술자에게 쉬운 시각 신호와 손잡이 접근을 제공했다. 자동화가 증가함에 따라, 틈이 끝 효과제 턱 안에 숨겨질 수 있었다.

주로 종류에 따라제조업체의 장비 설계와 사양대부분의 제조 도구는 이제 평평하거나 톱니로 쉽게 작동합니다.

따라서 반도체 공장 들 은 혼합 과 일치 를 하기 보다는 가장 잘 맞는 표준 을 채택 한다. 일부 공장 들 은 모든 평면 을 사용 하며, 일부 공장 들 은 물류 를 단순화 하기 위해 모든 틈을 사용 한다.

선도적인 웨이퍼 생산자로서, 우리는 고객들이 그들의 제조 라인에서 필요로 하는 평면 또는 크치로 웨이퍼를 공급할 수 있는 능력을 가지고 있습니다.

가져갈 수 있는 것

미묘한 특징이지만, 평면과 톱니가 조작, 정렬 및 안전을 가능하게합니다.실리콘 웨이퍼가공비대칭성표면 손상을 입지 않고 장비를 잡기 웨이퍼에 접근할 수 있도록 하는 동시에 오류 없는 방향성을 허용합니다.

다음 번 인테그리트 서킷 을 볼 때, 이 작은 평면 이나 톱니가 그 제조 에 얼마나 중요한 역할 을 했는지 생각해 보십시오!

평면이나 틈이 없이,실리콘은 여러분의 현대 전자제품에 들어가지 못했을 겁니다.반도체 제조업에서 겉으로 보기에는 중요하지 않은 세부 사항이 매우 중요한 또 다른 이유!