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상세 정보 |
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| 강조하다: | 8인치 광섬유 스플라이스 박스,6인치 광섬유 스플라이스 박스,FOSB 광섬유 스플라이스 박스 |
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제품 설명
6인치 POD / 8인치 POD / FOSB ((광섬유 스플라이스 박스) / 배달 박스/ 저장 박스 / RSP ((리모트 서비스 플랫폼) / FOUP ((전면 오픈 통일 팟)
제품 특징
6인치 POD
SEMI 표준을 준수합니다
표준 모델과 크레인 모델로 제공됩니다.
8인치 SMIF 기계 인터페이스와 호환되며, 온라인에서 6인치 & 6.3인치 카세트와 일치
낙하 방지 디자인으로 최적화된 손잡이 구조
프로세스 관리에 사용할 수 있는 여러 가지 색상 옵션
맞춤형 6인치 복합 반도체 POD 솔루션
투명 또는 주황색 상자 옵션
8인치 POD
SEMI 표준을 준수합니다
표준 모델과 크레인 모델로 제공됩니다.
많은 실용적 응용 사례
투명 또는 주황색 상자 옵션
사용자 정의 옵션 지원
프로세스 관리에 사용할 수 있는 여러 가지 색상 옵션
여러 가지 독점적 인 개선 사항은 제품의 신뢰성을 크게 향상시킵니다.
FOSB (광섬유 스플라이스 박스)
SEMI 표준을 준수합니다
웨이퍼 운송을 위해 깨끗한 환경을 제공합니다.
용량: 25 PCS
매우 호환성 있고 다양한 장비에 적합합니다.
초정결한 재료로 만들어졌습니다.
배달 상자
8인치 웨이퍼 운송용으로 설계된
일반적인 운송 상자 유형을 포함하는 광범위한 제품군
FAB에서 광범위한 응용 사례
저장 상자
6인치 및 8인치 수동 라인 카세트의 이동 및 보관에 적합합니다.
효율적인 조작을 위해 양쪽에서 에르고노믹한 손잡이 설계
선택적 투명한 상단 커버
FAB에서 광범위한 응용 사례
RSP (리모트 서비스 플랫폼)
SEMI 표준을 준수합니다
N2 정화 및 비 정화 구성 모두 지원
우수한 공기 밀착 성능
다수의 특허 디자인
광범위한 응용 프로그램 참조
FOUP ((전면 개방 통합 포드)
SEMI 표준을 준수합니다
PC 및 방수 재료로 제공됩니다.
용량 옵션: 25 pcs 또는 13 pcs
대량 배달을 지원합니다.
여러 가지 특허 디자인
우수한 인플레이션 및 공기 밀폐 성능
호환성 설계는 다른 브랜드와 혼합 사용이 가능합니다.
다양한 응용 시나리오를 지원하는 다기능 옵션
질문과 답
Q:POD (프로세스 오픈/클로즈 디바이스) 는 무엇입니까?
A:POD (Process Open/Close Device) is a specialized container used in semiconductor manufacturing and microfabrication processes to safely store and transport wafers (typically silicon or sapphire) between different stages of production in a cleanroom environment그것은 자동 처리 과정에서 공기 입자, 습기 또는 화학 물질 노출에 의한 오염으로부터 웨이퍼를 보호하기 위해 설계되었습니다.
POD 구조와 구성 요소
POD는 일반적으로 다음 부분으로 구성됩니다.
1뚜?? 은 외부 오염물질로부터 웨이퍼가 보호되도록 밀폐 된 커버를 제공합니다.
2.바스 ∙ 웨이퍼를 고정시켜 운반 중에 안전하게 위치하도록 안내 또는 슬롯을 갖습니다.
3잠금 메커니즘: 오염을 방지하기 위해 POD가 닫혀있을 때 공기 밀폐를 유지하도록합니다.
POD의 주요 기능
1오염 방지: 밀폐 된 설계는 웨이퍼가 공기 중 입자, 수분 및 화학 물질에 노출되는 것을 방지합니다.
2웨이퍼 보호: 웨이퍼가 운송 및 취급 중에 물리적으로 손상되지 않도록 보장합니다.
3자동화 호환성: POD는 자동화 웨이퍼 로딩 및 로딩을 촉진하기 위해 반도체 공장에서 사용되는 자동물질 처리 시스템 (AMHS) 과 호환됩니다.
4화학 저항성: PEEK, PFA 또는 폴리카보네이트와 같은 고성능 폴리머로 만들어졌으며 반도체 공정에서 사용되는 부식 화학 물질에 대한 내구성을 보장합니다.
POD의 적용
POD는 다음과 같은 분야에서 널리 사용됩니다.
1반도체 웨이퍼 제조 (실리콘, 사파이어, 유리 웨이퍼)
2.MEMS (마이크로 전기 기계 시스템) 제조
3광학 장치 생산
4연구 및 개발 연구소
POD 사용 의 장점
1.공자 없는 환경을 유지하기 위해 높은 밀폐 성능
2클린룸 저장 공간을 최적화하기 위해 쌓일 수 있는 디자인
3.건강한 구조로 기계적인 충격으로부터 웨이퍼를 보호
4가벼운 재료로 손쉽게 다룰 수 있습니다.
5. 내부의 웨이퍼를 시각적으로 검사하기 위한 선택적 투명한 창문
POD 개발의 미래 동향
더 큰 웨이퍼 크기와 더 높은 청결성 요구 사항에 대한 수요가 증가함에 따라 POD 디자인은 자동화, 모듈화 및 다중 크기 호환성 요구를 충족시키기 위해 진화하고 있습니다.미래의 POD는 웨이퍼 보호 및 생산 효율성을 더욱 향상시키기 위해 스마트 모니터링 시스템과 실시간 오염 탐지 기능을 갖추게 될 것으로 예상됩니다..
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