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실리콘 탄화탄 트레이 ICP 에치링 MOCVD Susceptor 착용 저항

세라믹 부품
2025-03-20
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실리콘 탄화탄 트레이 ICP 에치링 MOCVD Susceptor 착용 저항 설명 SIC로 코팅된 그래피트 트레이는 고순도 그래피트 매트리스로 만들어지며, CVD (화학 증기 퇴적) 를 통해 SiC 코팅을 받아 예외적으로 높은 순도와 이론적 밀도를 가지고 있습니다.이 CVD SiC 코팅은 매우 단단합니다.이 코팅 트레이는 높은 진공과 고온 환경에서 탁월합니다... 더 견해
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