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상세 정보 |
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| 재료: | LiNbO3은 실리콘 기판위에 층을 이룹니다 | 층 두께: | 300-1000nm |
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| 배향: | X 판 | 애플리케이션 2: | 5G 톱 / 벌크 탄성파 소자 |
| Ra: | 0.5nm | 분리막: | Sio2 |
| 기판: | 525 um | 사이즈: | 4 인치 6 인치 8 인치 |
| 하이 라이트: | 6 인치 LiNbO3 웨이퍼,BAW LiNbO3 웨이퍼,Z-컷 LiTaO3 웨이퍼 |
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제품 설명
6 인치 LiTaO3 LiNbO3 웨이퍼 검정색은 톱 / BAW 애플리케이션 128 급 Ｙ Z-컷을 위해 분열했습니다
단일 결정이 캔으로 만든 계수와 낮은 전파 경로 손실이 익숙한 높은 전자-기계 커플링과 강유전성 결정인 리튬 니오베이트 (LiNbO3)는 최고 50%까지 대역폭과 SAW 소자를 제조합니다. 리튬 니오베이트 단결정 물질의 음향 표면파 특성은 밀접하게 그들의 배향과 전파 방향과 관련됩니다. 다양한 절삭각과 전파 방향에 따르면, 톱 전파 대기시간은 3400~4000m/s이고, 압전 결합 계수가 0%~5.6% 이고, 온도 계수가 -1.1~-95.6(10^-6/C) 입니다.
리튬 탄탈레이트 (LiTaO3)는 압전기이고 전기 광학적이고 비선형-광학 특성과 자외선부터 적외선까지 가는 넓은 투명도 범위를 가집니다. LiTaO3 웨이퍼가 상등품으로 작용하기 위해 평활 표면이었다는 것이 바람직합니다. 화학 기계적 연마 (CMP)는 집적 회로 (ICs)를 평면화하거나 기판의 높은 표면 품질을 획득하는데 사용되었습니다. 본 논문은 LiTaO3 CMP를 찾기위해 슬러리에서 첨가제로서의 구연산의 효과를 조사합니다. 웨이퍼의 거칠기는 광택이 난 후 원자력 현미 기술 (AFM, XE-100)에 의해 측정되었습니다. 구연산을 첨가제로서 포함하는 슬러리는 첨가제 없는 슬러리 보다 더 높은 재료 제거율과 마찰력을 가집니다. 광택이 난 후, LiTaO3 웨이퍼의 조도는 1.7A의 Ra로 줄 수 있습니다.
특징적 상술
| 수정 깜부기병균류 | 삼각형, 공간 군 R3c, 포인트 그룹 3m |
| 융해점 | 1253C |
| 모스 경도 | 5 |
| 비중 (g/cm3) | 4.64 |
| 조해 | 어떤 것 |
| 광학 균질성 | ~5x10-5/cm |
| 투명도 범위 | 420-5200nm |
| 흡수 계수 | ~0.1%/cm @1064nm |
굴절률 | ne=2.146, no=2.220@1300nm |
| (25C에) 열팽창계수 | //a,2.0x10-6/K |
| 열전도율계수 | 25C에 있는 38 W/m/K |
| 열 광학 계수 | 1.4μm에 있는 dno/dT=-0.874 Ｘ 10-6/K |
셀마이어 식 | no2=4.9048+0.11768/(λ2-0.04750)-0.027169λ2 |
| 재료 | 3 4 6 " LT 웨이퍼 톱 / 광학 등급 | ||
| 배향 | X112' /Y28' /Y36' /Y42' /YZ 또는 주문 제작됩니다 | ||
| 퀴리 임시 | 605' C±3' Ｃ | ||
| 와 함께 도핑합니다 | Fe | ||
| 단일 도메인 | 감소된 완료된 편광 / | ||
| 배향 | 36' Ｙ, 42' Ｙ, X-112' Ｙ, Ｙ, Ｚ | ||
| 지름 | 76.2±0.2mm | 100±0.2mm | 150±0.2mm |
| 1차 플래트 | 22±1mm | 32±1mm | 47.5 밀리미터, 57.5 밀리미터, 눈금 |
| 두께 | 0.07mm~1.0mm | 0.1mm~1.0mm | 0.35mm~1.0mm |
| 표면가공도 | 단식 / 양측 사이드 니스 / 양측 사이드는 덮였습니다 | ||
| TTV | < 1=""> | ||
| 활 | ± (20um ~40um ) | ||
| 날실 | <> | ||
| LTV (5mmx5mm) | <1> | ||
| PLTV (<0> | ≥98% (5mm*5mm) 2 밀리미터로 모서리는 배제했습니다 | ||
| 연마한 측면 Ra | 거칠기 ra<> | ||
| 후면 표준 | 거칠기 ra :0.5-1.0um, GC#1000 | ||
| 스크래치 & Dig (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 | ||
| 에지 프로파일 | 세미 M1.2@with GC800#와 Compl't .Ｃ에 있는 정규고용인은 타이핑했습니다 | ||
| 크래크스, 톱 마크, 얼룩 | 어떤 것 | ||
LiTaO3 웨이퍼와 LiNbO3의 디스플레이
