Si 웨이퍼 / 기판 8 인치 두께 675-775 μm, P/N 유형, 오리엔테이션 111, 이중 / 단일 측면 닦은

8인치 시 웨이퍼 시 서브스트레이트 111 닦기 P 타입 N 타입 마이크로 전자 기계 시스템 (MEMS) 또는 전력 반도체 장치 또는 광 부품 및 센서

(8인치 실리콘 웨이퍼 (111) 크리스탈 오리엔테이션

(8인치 실리콘 웨이퍼 (111) 크리스탈 오리엔테이션은 반도체 산업에서 중요한 부품입니다.마이크로 전자 기계 시스템 (MEMS)이 웨이퍼는 고순도 실리콘으로 제조되며, 그 독특한 (111) 크리스탈 방향은 특정 전기, 기계,특정 반도체 공정 및 장치 설계에 필수적인 열 특성과.

실리콘 웨이퍼란 무엇인가요?

실리콘 웨이퍼 (Silicon wafer) 는 고순수 실리콘 결정으로 만들어진 얇고 평평한 디스크이다. 이 원소는 통합 회로 (IC) 및 다른 반도체 장치의 생산에 기본 기판으로 사용됩니다.웨이퍼는 산화와 같은 다양한 처리 단계를 거칩니다., 사진 리토그래피, 에칭, 도핑 등 다양한 전자 장치에 사용되는 복잡한 회로를 만들기 위해 사용되고 있습니다.

크리스탈 지향 과 그 중요성

의 실리콘 웨이퍼의 결정 지향은 결정 격자 안의 실리콘 원자의 배열을 가리킨다. 일반적으로 밀러 지수 (100), (110) 및 (111) 로 나타난다.실리콘 웨이퍼의 (111) 방향은 원자가 결정 구조 내에서 특정 방향으로 정렬된다는 것을 의미합니다.이 방향은 표면 에너지, 발열 특성 및 운반자 이동성과 같은 웨이퍼의 물리적 특성에 크게 영향을 미칩니다. 이는 장치 성능을 최적화하는 데 중요합니다.

(111) 크리스탈 오리엔테이션의 장점:

1. 향상 된 전기적 특성: (111) 방향은 일반적으로 더 나은 열 전도성과 전기 성능을 제공합니다. 특히 전력 반도체 장치에서.
2. 전력 장치에 최적화: (111) 웨이퍼 지향은 높은 분해 전압, 우수한 열 방출 및 높은 전압 하에서의 안정성으로 인해 전력 반도체 장치에서 선호됩니다.
3. 열 관리 개선: (111) 크리스탈은 트랜지스터와 다이오드와 같은 고전력 애플리케이션에 필수적인 더 나은 열 전도성을 제공합니다.
4. 더 나은 표면 형태: (111) 표면은 부드러운 표면을 나타내는 경향이 있으며, 이는 특정 마이크로 제조 공정과 MEMS 장치에 이상적입니다.

8인치 (111) 실리콘 웨이퍼의 사양

1. 직경: 8인치 (200mm) 의 실리콘 웨이퍼는 반도체 제조에 사용되는 표준 크기입니다. 그 크기는 단일 웨이퍼에서 여러 칩을 만들 수 있습니다.대량 생산에 비용 효율성을 높이는 것.
2. 두께: 8인치 (111) 실리콘 웨이퍼의 전형적인 두께는 약 675-775 미크론 (μm) 이지만 두께는 고객의 특정 요구 사항에 따라 다를 수 있습니다.
3. 저항성: 웨이퍼의 저항성은 전기적 특성을 결정하는 데 결정적입니다. 저항성은 일반적으로 1 Ω · cm에서 1000 Ω · cm 사이이며, N 타입 및 P 타입 도핑이이이 값에 영향을 미칩니다..저항성은 전력 전자제품이나 태양광 전지 같은 다양한 애플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 조정할 수 있습니다.
4. 도핑 유형: 실리콘 웨이퍼는 전기 전도성을 제어하기 위해 붕 (P형) 또는 인 (N형) 과 같은 P형 또는 N형 불순물로 도핑 할 수 있습니다.N형 웨이퍼는 전자 이동성이 향상되었기 때문에 태양 전지 전지와 같은 고효율 애플리케이션에 종종 선호됩니다..
5. 표면 품질: 웨이퍼의 표면은 1 nm 이하의 거칠성 (RMS) 으로 매우 부드러운 마무리까지 닦습니다.이것은 웨이퍼가 반도체 제조에 필요한 정밀한 처리에 적합하다는 것을 보장합니다.전체 두께 변동 (TTV) 은 일반적으로 20μm 이하이며 웨이퍼 전체에 균일성을 보장합니다.
6. 평면 또는 톱니: 기기 처리 과정에서 지향을 촉진하기 위해 웨이퍼는 일반적으로 (111) 의 결정 지향을 나타내는 가장자리에 평평하거나 톱니가 표시됩니다.이것은 사진 리토그래피 및 에칭 단계에서 웨이퍼를 정렬하는 데 도움이됩니다..

8인치 (111) 실리콘 웨이퍼의 응용

1. 전력 반도체 장치: 8인치 (111) 실리콘 웨이퍼는 다이오드, 트랜지스터 및 전력 MOSFET (금속 산화물 반도체 필드 효과 트랜지스터) 와 같은 전력 장치에서 광범위하게 사용됩니다.이 장치들은 전기차 (EV) 와 같은 애플리케이션에서 높은 전압과 전류를 처리하는 데 필수적입니다., 재생 에너지 시스템 (태양 및 풍력 등) 및 전기 네트워크.

2. 마이크로 전자 기계 시스템 (MEMS): 단일 칩에 기계적 및 전기적 구성 요소를 결합하는 MEMS 장치는 기계적 강도, 정확성 및 표면 특성으로 인해 (111) 방향에서 이익을 얻습니다.MEMS 장치는 센서와 같은 다양한 응용 프로그램에서 사용됩니다.자동차, 의료 및 소비자 전자제품에서 발견되는 가속계, 가속계 및 자이로스코프.

3. 태양광 전지: (111) 방향은 실리콘 기반 태양 전지의 성능을 향상시킬 수 있습니다.와이퍼 의 우수한 전자 이동성 과 효율적 인 빛 흡수 특성 으로 인해 고효율 태양 전지판 에 적합 하다, 태양광을 가능한 한 많은 양의 전기 에너지로 변환하는 것이 목표입니다.

4. 광전자 장치: (111) 실리콘 웨이퍼는 빛 센서, 광 탐지 장치 및 레이저를 포함한 광 전자 장치에도 사용됩니다.고품질의 결정 구조와 표면 특성은 이러한 응용 프로그램에 필요한 높은 정밀도를 지원합니다..

5. 고성능 IC: 일부 고성능 통합 회로 (IC), RF (라디오 주파수) 애플리케이션 및 센서에서 사용되는 것을 포함하여,사용 (111) 지향적 실리콘 웨이퍼 그들의 독특한 물리적 특성을 활용하기 위해.

Si 웨이퍼의 응용 그림

제조 과정

8인치 (111) 실리콘 웨이퍼의 제조 과정은 일반적으로 몇 가지 주요 단계를 포함합니다.

1. 크리스탈 성장: 높은 순수성 실리콘은 Czochralski 공정과 같은 방법을 사용하여 녹여 큰 단일 결정으로 자란다.
2. 웨이퍼 절단: 실리콘 결정은 필요한 지름의 얇고 평평한 디스크로 잘라집니다.
3. 닦고 청소 하는 것: 웨이퍼 는 표면 에 있는 결함 과 오염 을 제거 하기 위해 부드럽고 거울 처럼 완성 될 수 있도록 닦는다.
4. 검사 및 품질 관리: 웨이퍼 는 고전 한 측정 장비 를 사용 하여 결함, 두께 변동, 그리고 결정 지향성 에 대한 엄격 한 검사 를 받는다.

결론

8인치 (111) 의 실리콘 웨이퍼는 다양한 첨단 기술에서 중요한 역할을 하는 고도로 전문화된 재료입니다.열력, 및 기계적 특성을 가지고, 그것은 고 전력 반도체 장치, MEMS, 광전 및 광전자에 이상적입니다.그리고 도핑 유형, 이 웨이퍼는 다양한 응용 프로그램의 특정 요구를 충족시키기 위해 조정 될 수 있으며, 현대 전자 및 에너지 솔루션의 발전에 기여합니다.