BF33 유리 웨이퍼는 BOROFLOAT 33 또는 BF 33로 널리 알려져 있으며 SCHOTT가 제조한 프리미엄 보로실리케이트 플로트 유리 웨이퍼입니다.그리고 기계적 성질그 이름에 있는 33은 약 3.3ppm/°C의 열 팽창 계수 (CTE) 를 가리킨다. 이 특성은 실리콘과 거의 일치한다.반도체 및 마이크로 전자 애플리케이션에 선호되는 선택.
BOROFLOAT 33는 SCHOTT의 선구적인 미세 플로트 공정을 사용하여 만들어집니다. 이것은 거울과 같은 표면 품질, 높은 평면성, 최소한의 미세 경직성,그리고 전체적으로 뛰어난 광학 맑음.
BF33의 유리 성분은 대략:
SiO2
B2O3
Na2O/K2O
알2O3
이 형태 는 다음과 같은 주요 이점 을 가져온다.
낮은 밀도, 일반적인 소다 석회 유리보다 가볍고 가벼운 laminated 구조 (예: 방탄 유리) 를 가능하게합니다.
낮은 알칼리 함량, 이는 분석 또는 생의학 장치의 침착을 줄여 측정 과정에서 간섭을 최소화합니다.
열 확장 계수 (CTE): ≈ 3.25 ppm/°C 密切相匹配하는 실리콘은 온도 변화 중에 최소한의 스트레스를 보장하며 애노드 결합과 같은 과정에 필수적입니다.
온도 저항성: 장기 사용 시 최대 450 °C, 단기 (<10 h) 사용 시 최대 500 °C.
열 충격 저항성: 낮은 CTE와 구조적 무결성으로 급격한 온도 변동에 탁월한 저항을 제공하여 균열이나 변형을 방지합니다.
단단함: 고 Knoop 경화 (≈ 480 HK) 및 강력한 경화 저항, 현저하게 일반 소다 석회 유리보다 뛰어난 성능.
탄력 모듈: 약 64 kN/mm2로 포이슨의 비율은 0에 가깝습니다.2.
이러한 특성 때문에 BF33는 침투, 경사 및 기계적 마모에 매우 저항력이 있습니다.
높은 투명성UV, 가시광선 및 IR 근처 파장, 매우 낮은 자화광선
자외선 전파: 0.5mm 두께에서, 308nm에서 90% 이상, 그리고 여전히 248nm에서 35% 이상 다른 얇은 유리 재료를 크게 능가합니다.
물, 강한 산, 알칼리 및 유기 용매에 대한 탁월한 저항성으로 BF33는 습기 에치, CMP 또는 분석 기기와 같은 혹독한 화학 환경에 특히 적합합니다.
수분화 및 부식 저항성ISO/DIN 표준에 따라 클래스 1등급입니다.
많은 공급업체는두면으로 닦은 (DSP)BF33 웨이퍼는 종종 미나노미터 미만의 표면 거칠성 (< 1 nm Ra), 단단한 TTV (< 10 μm) 및 낮은 결함 완공 (예를 들어, 스크래치 / 파기 60/40), 까다로운 마이크로 제조 요구 사항에 적합합니다.
이 같은 사양은 뛰어난 평면성과 접착 호환성을 보장합니다.아노드 결합,레이저 탈결제, 그리고광학 집합체표면 품질이 중요한 곳이죠.
BF33의 특이한 특성은 다양한 영역에서 사용 가능한 재료로 만듭니다.
반도체 및 마이크로 전자: 운반 웨이퍼, 실리콘과의 애노드 결합, 웨이퍼 희석, 미세 유체학, MEMS, 광학 센서 및 칩 장치.
광학 및 광학: 레이저 광학, 필터, 거울, 현미경 슬라이드 및 열 환경에서의 광학.
분석 및 생의학: 바이오 칩, 타이트레이션 플레이트, 미세 유체 시스템, 진단 도구
산업용 용도: 고온 광학, 오븐 창문, 플라드 라이트 커버, 화학 원자로의 시선 안경.
에너지 및 환경 기술: 태양광 시스템, 환경 센서 및 미세 유체 환경 모니터링 장치의 기판.
항공우주 및 국방: 내구성 있고 열적으로 안정적인 부품, 예를 들어 기기 패널, 센서 창문, 우주 광학.
요약하자면, BF33 / BOROFLOAT 33 유리 웨이퍼는 비교할 수 없는 특성을 제공합니다.
재산 | 가치 |
실리카 함량 | >80% |
스트레인 포인트 | 520°C |
반열점 | 560°C |
완화점 | 820°C |
굴절 지수 | 1.47 |
전송 | >90% |
탄력 모듈 (E) | 67 KN/mm2 |
팽창 강도 | 40~120 KN/mm2 |
작업 온도 (104dPa) | 1220°C |
열 확장 계수 (20~300°C) | 3.3 × 10−6 /K |
포이슨 비율 | 0.2 |
밀도 (20°C) | 2.23g/cm3 |
특정 열 | 0.9 J/(g·K) |
물 저항성 (ISO) | 1급 |
산성 (ISO) | 1급 |
알칼리 저항성 (ISO) | 2급 |
이러한 특성은 신뢰성, 정확성 및 내구성이 필수적인 애플리케이션에 다재다능하고 고성능의 기판으로 만듭니다.
BF33/BOROFLOAT 33 유리 웨이퍼는 SCHOTT의 마이크로 플로이트 공정을 통해 설계된 최고 수준의 보로 실리케이트 유리 기판으로 돋보인다.높은 광질, 화학적 무력성, 기계적 견고성, 그리고 표면 우수성 등이 선진 반도체 패키지에서 최첨단 광학 시스템에 이르기까지생의학적 기기, 항공우주 기술
BF33는 BOROFLOAT 33로도 알려져 있으며, SCHOTT의 독자적인 마이크로 플로이트 공정을 사용하여 제조된 고품질의 보로실리케이트 플로트 글래스입니다. 낮은 열 확장 (~3.3 × 10−6 K−1) 를 특징으로합니다.고열 충격 저항성, 우수한 화학 내구성 및 뛰어난 광학 명성. 반도체, 미세 유체 및 광학 응용 용도로 웨이퍼 형태로 공급됩니다.
소다 석회 유리와 달리, BF33는 80% 이상의 실리카와 상당한 양의 붕산소를 함유하고 있습니다.
열 확장을 줄이고 온도 순환 중에 균열을 방지합니다.
산, 염기, 용매에 대한 화학적 저항성을 증가시킵니다.
자외선과 적외선 전파를 향상시킵니다.
기계적 강도와 스크래치 저항을 향상시킵니다.
그 열 확장 은 실리콘 과 일치 하며, 스트레스 없는 애노드 결합 을 가능하게 한다. 또한 그 화학적 내구성 은 습기 에치, CMP,그리고 다른 청정실 공정으로 분해되지 않습니다..
예. BF33 웨이퍼는 종종 DSP (Double-Side Polished) 또는 SSP ((Single-Side Polished) 로 공급되며, 표면 거칠성 < 1 nm Ra 및 전체 두께 변동이 낮습니다.이것은 광 리토그래피와 웨이퍼 결합에 매우 중요합니다..
ZMSH는 첨단 기술 개발, 생산 및 특수 광학 유리 및 새로운 결정 물질의 판매에 특화되어 있습니다. 우리의 제품은 광학 전자, 소비 전자 및 군대를 제공합니다.우리는 사피어 광학 부품을 제공합니다., 휴대 전화 렌즈 커버, 세라믹스, LT, 실리콘 카비드 SIC, 쿼츠, 반도체 크리스탈 웨이퍼.,선도적인 광전자 재료 첨단 기술 기업으로 진출하는 것을 목표로 합니다.