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상세 정보 |
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| 소재: | 단결정 사파이어 | Dimensions: | Customized |
|---|---|---|---|
| 표면 거칠성: | Ra ≤ 0.02μm | Working Temperature: | >2000°C |
| 팁 모양: | 평평한 er 둥근 、 테이퍼 | Mounting: | Mechanical or Threaded |
| 강조하다: | 반도체 웨이퍼 핸들링 사파이어 리프트 핀,사용자 정의 크기 사피어 리프트 핀,고순도 사파이어 리프트 핀 |
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제품 설명
제품 소개
사파이어 리프트 핀 (Sapphire lift pin) 은 고순도 단일 결정 사파이어로 만든 리프트 핀으로, 주로 반도체 제조 장비에서 웨이퍼를 지지하고 이동하는 데 사용됩니다.사파이어 의 뛰어난 고온 저항성 때문 에화학적 안정성 및 극한의 경직성, 사피어 리프트 핀은 가혹한 환경에서 안정적인 성능을 유지할 수 있습니다. 사피어 리프트 핀을 사용하는 것은 웨이퍼 오염 위험을 크게 감소시킵니다.장비의 수명을 연장합니다., 그리고 전체 프로세스 생산량을 향상시킵니다.
기본 원칙
사파이어 리프트 핀의 기본 원리는 적절한 위치 확보를 위해 가공 중에 바늘을 정확하게 들어 올리고 낮추는 것입니다.여러 가지 사파이어 리프트 핀 은 보통 와이퍼 의 변형 이나 손상 을 방지 하기 위해 함께 작동 한다사파이어 리프트 핀은 높은 온도, 진공 및 부식성 환경에 견딜 수 있기 때문에 기존 재료보다 훨씬 더 긴 수명과 더 높은 신뢰성을 제공합니다.
사양
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 소재 | 단일 결정 사피르 |
| 크기 | 맞춤형 |
| 표면 거칠성 | Ra ≤ 0.02μm |
| 작업 온도 | > 2000°C |
| 열 팽창 계수 | 5.8 × 10−6 /°C |
| 굽기 힘 | ≥ 400 MPa |
| 투명성 | 가시 범위에서 높은 전파성 |
| 부식 저항성 | 훌륭해요 |
| 팁 모양 | 평평하고 둥글고 톱니 모양 |
| 장착 | 기계 또는 스레드 |
신청서
사파이어 리프트 핀은 에치 (Etch), 화학 증기 퇴적 (CVD), 물리적 증기 퇴적 (PVD), 원자층 퇴적 (ALD) 등의 장비에서 널리 사용됩니다. 웨이퍼 로딩, 전송,냉각특히 광전자 장치, MEMS 생산 및 전력 반도체 제조에서사파이어 리프트 핀은 핵심 부품이 되었습니다..
질문 및 답변
Q1: 왜 세라믹이나 금속 대신 사파이어 리프트 핀을 선택합니까?
A1: 사파이어 리프트 핀은 더 높은 화학 저항성과 열 안정성을 제공하며 부식성 가스 및 고온 환경에서 장기 작동 할 수 있습니다.
Q2: 사파이어 리프트 핀은 사용 중에 입자를 생성합니까?
A2: 매우 부드러운 표면으로 인해 사파이어 리프트 핀은 입자 생성의 위험이 매우 낮아서 극정 깨끗한 프로세스에 이상적입니다.
Q3: 다른 기계에 맞춤 사파이어 리프트 핀이 필요합니까?
A3: 예, 기계 모델 및 프로세스 요구 사항에 따라 사파이어 리프트 핀은 종종 크기, 모양 및 연결 인터페이스에서 사용자 정의해야합니다.
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