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상세 정보 |
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| 결정계: | 삼각형입니다 | 직경: | Ø76.2 mm, Ø100 mm, 기타 |
|---|---|---|---|
| 배향: | 127.86 ° Y, 64 ° Y, X, Y, Z 또는 사용자 정의 | 퀴리 온도: | 605 |
| 강도 (Mohs): | 5.5–6 | 색상: | 무색 또는 옅은 노란색 녹색 |
| 강조하다: | 전기 광학 LiTaO3 웨이퍼,피에조 일렉트릭 리타오3 웨이퍼,비선형 광학 LiTaO3 웨이퍼 |
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제품 설명
LiTaO3 웨이퍼 리튬 탄탈레이트 전기 광학 비선형 광학 압전 맞춤화
LiTaO3 웨이퍼 소개
리튬 탄탈레이트는 일메나이트형 구조를 특징으로 하는 우수한 다기능 결정질 재료로, 무색 또는 옅은 황색을 띕니다. 풍부한 원자재 가용성, 뛰어난 열적 및 화학적 안정성, 가공성으로 유명한 리튬 탄탈레이트는 고품질, 대형 단결정 성장을 가능하게 합니다. 연마된 이 결정은 공진기, 표면 탄성파(SAW) 필터, 변환기 등 전자 통신 부품 제조에 탁월한 성능을 보여줍니다. 필수적인 기능성 재료인 리튬 탄탈레이트는 이동 통신, 위성 시스템, 항공 우주 응용 분야를 포함한 첨단 통신 기술에서 중요한 역할을 합니다.
기술적 특징LiTaO3 웨이퍼의
(1) 전기 광학 특성: 리튬 탄탈레이트는 광학 통신 및 컴퓨팅 응용 분야의 기반을 형성하는 놀라운 전기 광학 특성을 나타냅니다. 비중심 대칭 결정인 리튬 탄탈레이트는 강한 선형 전기 광학(Pockels) 효과를 나타냅니다. 인가된 전기장 하에서 굴절률이 변조되어 전기 신호를 광 신호 변조로 효율적으로 변환할 수 있습니다.
(2) 광굴절 효과: 리튬 탄탈레이트는 약한 빛에도 매우 민감하여 상당한 광굴절 효과를 유발합니다. 조명 시 재료 내 전자가 가전자대에서 전도대로 여기되어 동일한 수의 정공이 남습니다. 자유 전하는 전기장 하에서 이동하여 공간 전하 분포를 형성하여 내부 전기장을 변경하고 굴절률 변화를 유도합니다. 특히 이 광굴절 효과는 일반적으로 가역적입니다. 조명이 중단되면 굴절률이 부분적으로 또는 완전히 원래 상태로 회복됩니다.
(3) 압전 효과: 삼각 결정계에 속하는 리튬 탄탈레이트는 비중심 대칭 구조로, 양전하 중심과 음전하 중심이 정렬되지 않습니다. 기계적 응력을 받으면 이러한 전하 중심 사이의 변위가 표면 전하를 생성하여 압전 응답으로 나타납니다.
LiTaO3 웨이퍼의 원리
5G 통신, 인공 지능, IoT 기술의 급속한 발전에 따라 전자 장치는 소형화, 고주파 작동 및 통합 추세가 증가하고 있습니다. 리튬 탄탈레이트 박막은 뛰어난 전기 광학 변환 특성, 열적 특성, 열 전도성 및 실리콘 호환성으로 인정받아 포스트 무어의 법칙 시대의 차세대 장치 개발에 필수적인 재료가 되었습니다.
화학 기상 증착(CVD):
화학 기상 증착(CVD)은 유기 금속 열 분해를 사용하여 기상 에피택셜 성장을 수행하는 첨단 기술입니다. 반응 기체는 반응 챔버에 도입되어 제어된 조건에서 활성화된 후 기판 표면과 반응하여 박막을 합성합니다. 이 방법은 증착된 재료의 화학적 조성을 정밀하게 제어할 수 있어 저응력, 고품질 박막 형성, 고순도, 높은 처리량 및 우수한 균일성과 같은 이점을 제공합니다.
리튬 탄탈레이트(LiTaO₃) 재료 사양
I. 기본 특성
| 속성 | 값 | 단위/비고 |
|---|---|---|
| 결정 시스템 | 삼각 | |
| 격자 상수 | a = 5.154 Å, c = 13.783 Å | |
| 밀도 | 7.45 | g/cm³ |
| 융점 | 1650 | °C |
| 큐리 온도 | 605 | °C |
| 경도(Mohs) | 5.5–6 | |
| 유전 상수 | ε₁₁/ε₀ = 39–43; ε₃₃/ε₀ = 42–43 | |
| 저항률 | 10¹⁵ | Ω·m (단위 보정 가정) |
| 열팽창 계수 | α₁=α₂=1.61×10⁻⁶; α₃=4.1×10⁻⁶ | /°C (25°C에서) |
| 색상 | 무색 또는 옅은 황록색 | |
| 투과 범위 | 400–5000 | nm |
| 굴절률 | n₀ = 2.176, n₁ = 2.180 | @ 633 nm |
II. 벌크 결정 사양
| 매개변수 | 값 |
|---|---|
| 직경 | Ø76.2 mm, Ø100 mm, 기타 |
| 길이 | ≤150 mm, ≤100 mm |
| 방향 | 127.86°Y, 64°Y, X, Y, Z 또는 맞춤형 |
III. 웨이퍼 사양
| 매개변수 | 값 | 단위/비고 |
|---|---|---|
| 직경 | Ø76.2 mm, Ø100 mm | |
| 두께 | ≥0.25 mm | |
| 방향 | 127.86°Y, 64°Y, X, Y, Z 또는 맞춤형 | |
| 기준면 | X, Y, Z 또는 맞춤형 | |
| 기준면 폭 | 22 ± 2 | mm |
| 표면 거칠기(Ra/Rz) | 10/5 | μm |
| 총 두께 변화(TTV) | <10 | μm |
LiTaO3 웨이퍼의 응용
압전 공진기 및 필터: 강력한 압전 효과를 활용하여 LiTaO₃는 휴대폰, 위성 통신 및 레이더 시스템의 신호 처리를 위한 고주파 표면 탄성파(SAW) 필터 및 벌크 탄성파(BAW) 공진기에 사용됩니다.
초음파 변환기 및 압전 이미징: 높은 전기 기계적 결합 계수로 인해 LiTaO₃는 의료용 초음파 이미징 및 산업용 비파괴 검사 변환기에 이상적입니다.
LiTaO3 웨이퍼의 Q&A
Q: LiTaO₃란 무엇입니까?
A: LiTaO₃(리튬 탄탈레이트)는 우수한 전기 광학, 압전 및 비선형 광학 특성을 가진 단결정 재료입니다. 광통신, 레이저, 음향 및 적외선 감지에 널리 사용됩니다.
Q: LiTaO₃와 LiNbO₃의 차이점은 무엇입니까?
A: LiTaO₃는 레이저 손상 임계값이 높고 열적 안정성이 더 우수하여 고출력 레이저 및 주파수 변환에 더 적합합니다. 반면에 LiNbO₃는 전기 광학 계수가 더 높고 광통신에 일반적으로 사용됩니다.
Q: LiTaO₃의 일반적인 결정 방향은 무엇입니까?
A: 일반적인 방향에는 Z-컷(전기 광학 변조기 및 SAW 장치용) 및 X-컷/Y-컷(특정 음향파 응용 분야용)이 있습니다.
Q: LiTaO₃ 제품을 맞춤화할 수 있습니까?
A: 예, 다양한 응용 요구 사항을 충족하기 위해 크기, 방향, 두께, 표면 마감 및 도핑 농도에 대한 맞춤화가 가능합니다.
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