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상세 정보 |
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| Diameter (inch): | 3/4/6/8/12 | Internal Transmittance: | >99.9% |
|---|---|---|---|
| Refractive Index: | 1.474698 | Total Transmittance: | >92% |
| TTV: | <3 | Flatness: | <15 |
제품 설명
쿼츠 웨이퍼의 도입
쿼츠 웨이퍼 는 결정적 인 실리콘 이산화 (SiO2) 로 만들어진다. 쿼츠 의 독특한 특성 은 쿼츠 를 다양한 첨단 기술 산업 에서 필수 재료 로 한다.
쿼츠 웨이퍼는 높은 열 저항성, 특정 파장에서의 뛰어난 빛 전달, 화학적 무력성 및 낮은 열 팽창 계수와 같은 우수한 특성을 나타냅니다.이 특징 들 은 극단적 인 온도 에서 안정성 을 필요로 하는 응용 프로그램 에 매우 적합 합니다가혹한 화학물질에 대한 저항성, 특정 스펙트럼 범위의 투명성
반도체 제조, 광학 및 MEMS (마이크로 전기 기계 시스템) 와 같은 산업에서쿼츠 웨이퍼는 고온에 견딜 수 있기 때문에 변형이나 퇴화없이 널리 사용됩니다.그들은 얇은 필름 퇴적, 미세 구조 에치, 또는 높은 차원 정확성과 열 안정성을 요구하는 정밀 부품 제조를위한 기판으로 사용됩니다.
제조 원리쿼츠 웨이퍼
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크리스탈 성장
쿼츠 볼은 수열 또는 화염 융합 (베르누일) 방법을 통해 자연 또는 합성 씨앗 결정을 사용하여 재배됩니다. -
인고트 절단
실린더형 잉글릿은 다이아몬드 와이어 사이를 사용하여 웨이퍼로 자르며 두께 균일성과 최소한의 커프 손실을 보장합니다. -
랩링 및 폴리싱
웨이퍼는 랩, 에치, 그리고 그 다음 롤링하여 표면 거칠성이 낮은 거울처럼 부드러운 완성도를 달성합니다. (광학급 웨이퍼의 경우 Ra < 1 nm). -
청소 및 검사
초음파 또는 RCA 청소 는 미세먼지 와 금속 오염물질을 제거 한다. 각 웨이퍼 는 차원 및 표면 평면성 검사 를 받는다.
쿼츠 웨이퍼 사양
| 쿼츠 타입 | 4 | 6 | 8 | 12 |
|---|---|---|---|---|
| 크기 | ||||
| 직경 (인치) | 4 | 6 | 8 | 12 |
| 두께 (mm) | 0.052 | 0.255 | 0.3·5 | 0.4·5 |
| 지름 허용 (인치) | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 |
| 두께 허용량 (mm) | 사용자 정의 | 사용자 정의 | 사용자 정의 | 사용자 정의 |
| 광학적 특성 | ||||
| 반열 지수 @365 nm | 1.474698 | 1.474698 | 1.474698 | 1.474698 |
| 반열 지수 @546.1 nm | 1.460243 | 1.460243 | 1.460243 | 1.460243 |
| 굴절 지수 @ 1014 nm | 1.450423 | 1.450423 | 1.450423 | 1.450423 |
| 내부 송출력 (1250~1650 nm) | >99.9% | >99.9% | >99.9% | >99.9% |
| 전체 전송량 (1250~1650 nm) | >92% | >92% | >92% | >92% |
| 가공 품질 | ||||
| TTV (총 두께 변동, μm) | 3 | 3 | 3 | 3 |
| 평면 (μm) | ≤15 | ≤15 | ≤15 | ≤15 |
| 표면 거칠성 (nm) | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 |
| 활 (μm) | <5 | <5 | <5 | <5 |
| 물리적 특성 | ||||
| 밀도 (g/cm3) | 2.20 | 2.20 | 2.20 | 2.20 |
| 영 모듈 (GPa) | 74.20 | 74.20 | 74.20 | 74.20 |
| 모스 강도 | 6~7 | 6~7 | 6~7 | 6~7 |
| 시어 모듈 (GPa) | 31.22 | 31.22 | 31.22 | 31.22 |
| 포이슨 비율 | 0.17 | 0.17 | 0.17 | 0.17 |
| 압축 강도 (GPa) | 1.13 | 1.13 | 1.13 | 1.13 |
| 팽창 강도 (MPa) | 49 | 49 | 49 | 49 |
| 다이렉트릭 상수 (1MHz) | 3.75 | 3.75 | 3.75 | 3.75 |
| 열 특성 | ||||
| 스트레인 포인트 (1014.5 Pa·s) | 1000°C | 1000°C | 1000°C | 1000°C |
| 반열점 (1013 Pa·s) | 1160°C | 1160°C | 1160°C | 1160°C |
| 완화점 (107.6 Pa·s) | 1620°C | 1620°C | 1620°C | 1620°C |
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