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| 브랜드 이름: | ZMSH |
| MOQ: | 5 |
| 가격: | by case |
| 포장에 대한 세부 사항: | 맞춤형 상자 |
| 지불 조건: | t/t |
융합 실리카 또는 융합 쿼츠는 쿼츠 (SiO2) 의 무형 단계이다. 보로실리케이트 유리와 달리, 융합 실리카에는 첨가물이 없으며, 순수한 형태로 SiO2가 존재한다.용해 된 실리카는 일반 유리와 비교했을 때 적외선 및 자외선 스펙트럼에서 더 높은 전송 성능을 가지고 있습니다.융합된 실리카는 초순한 SiO2를 녹여 다시 굳게 만들어집니다.반면에 합성 용액 실리콘은 SiCl4와 같은 실리콘이 풍부한 화학 선행 물질로 만들어지며 H2 + O2 대기 속에서 가시화되고 산화됩니다.이 경우 형성 된 SiO2 먼지는 기판에 실리카로 융합됩니다. 융합 된 실리카 블록은 웨이퍼로 잘라지며 그 후 웨이퍼가 마지막으로 닦습니다.
극도로 높은 순도 (≥99.99% SiO2)
반도체와 광학에서 오염에 민감한 프로세스에 이상적입니다.
넓은 온도 범위
냉동기온 환경 ≤1100°C까지 변형 없이 견딜 수 있다.
예외적인 UV 및 IR 송출성
깊은 자외선 (DUV) 에서 근 적외선 (NIR) 까지 뛰어난 광학 명성을 제공합니다.
낮은 열 확장
열순환에서 차원 안정성을 보장하여 부품 스트레스를 줄입니다.
화학적 무력성
대부분의 산, 염기 및 용매에 내성이 있으며 가혹한 공정 조건에 완벽합니다.
표면 품질 관리
광학 및 MEMS 애플리케이션을 위해 초 부드럽고 양면으로 닦은 형식으로 제공됩니다.
녹은 쿼츠 웨이퍼는 다음과 같은 단계를 통해 생산됩니다.
원자재 선택:고 순수성 천연 쿼츠 모래 또는 결정이 선택되고 정화됩니다.
용해와 융합:쿼츠 알갱이는 ~ 2000 ° C에서 제어 된 대기 속에서 전기 오븐에서 버블과 불순물을 제거합니다.
응고 및 블록 형성:녹은 물질은 고체 덩어리 또는 블록으로 냉각됩니다.
웨이퍼 썰기:정밀 철톱은 굳어진 녹아있는 쿼츠를 웨이퍼 빈 조각으로 잘라냅니다.
래핑 및 롤링:웨이퍼 표면은 얇아지고, 랩되고, 닦아지며, 정확한 두께와 평면성을 얻습니다.
청소 및 검사:최종 웨이퍼는 100/1000급 청정실에서 초음파로 청소하고 결함을 검사합니다.
녹은 쿼츠 웨이퍼는 광적 투명성, 열 내구성 및 화학 저항을 요구하는 산업 전반에 걸쳐 사용됩니다.
고온 공정에서 운반 웨이퍼
디프루션 및 이온 이식 마스크
에칭, 퇴적 및 검사 플랫폼
광학 코팅용 기판
레이저 창과 빔 스플리터
정밀 UV 및 IR 광 부품
분석 기구용 표본 운반기
미세 유체 및 화학 분석 플랫폼
고온 반응 기체
LED 칩 제조용 오븐 웨이퍼
태양 전지 전지 연구개발의 기판
| 스펙 | 단위 | 4인치 | 6인치 | 8인치 | 10인치 | 12인치 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 지름 / 크기 (또는 정사각형) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| 용도 (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 두께 | mm | 0.10 이상 | 0.30 이상 | 0.40 이상 | 0.50 이상 | 0.50 이상 |
| 기본 기준 평면 | mm | 32.5 | 57.5 | 반등 | 반등 | 반등 |
| LTV (5mm×5mm) | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
| TTV | μm | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| 굴복 | μm | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| 워프 | μm | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm × 5mm) < 0.4μm | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| 가장자리 둥글림 | mm | SEMI M1.2 표준을 준수 / IEC62276 참조 | ||||
| 표면 유형 | 일면 닦은 / 이면 닦은 | |||||
| 닦은 면 Ra | nm | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 |
| 뒷면 기준 | μm | 일반 0.2-0.7 또는 사용자 정의 | ||||
유리 모양의 구조결정성 쿼츠에서 발견되는 이중절차를 제거합니다.
크리스탈 축이 없습니다.광학 응용 프로그램에서 동위성 행동을위한 이상적
비포러스, 부드러운 표면청결성 향상 및 코팅 접착력
접착, 조각 및 사진 리토그래피에 적합합니다.
낮은 OH 함량자외선 내구성을 향상시키기 위해 사용 가능
Q1: 융합 쿼츠와 융합 실리카의 차이점은 무엇입니까?
둘 다 amorphous SiO2를 가리키지만, "융합 실리카"는 종종 합성적으로 생산된 고순도 유리를 의미하며, "융합 쿼츠"는 자연 쿼츠에서 파생된다.그 성질은 대부분의 응용 분야에서 거의 동일합니다..
Q2: 녹은 쿼츠 웨이퍼는 고 진공 환경에서 사용할 수 있습니까?
네, 융합된 쿼츠는 극히 낮은 방출과 높은 열 안정성을 가지고 있으며, 진공 시스템과 우주 용용에 이상적입니다.
Q3: 이 웨이퍼는 자외선 레이저 응용 프로그램에 적합합니까?
절대적으로. 융성 쿼츠는 깊은 UV 범위 (~ 185 nm까지) 에서 우수한 전송을 보여, DUV 레이저 광학과 광 마스크 기판에 잘 적합합니다.
Q4: 사용자 정의를 제공합니까?
네, 우리는 고객 요구 사항에 따라 웨이퍼를 제조합니다. 지름, 두께, 표면 완성도, 레이저 절단 패턴 등.
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