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상세 정보 |
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| 재료: | 사파이어 기질 등급 | 정위: | c축 |
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| 두께: | 500um(다른 두께 OK) | 표면: | DSP |
| 티비: | <15um | 절하다: | <10um |
| 경사: | <15um | 패키지: | 진공 패키지에 의한 100 등급 클리닝 룸 |
| 사용자 정의: | 수용 가능한 | 두께 공차: | ±15um |
| 애플리케이션: | 테스트 기판 | ||
| 강조하다: | Al2O3 크리스탈 사파이어 기판,ｃ 축 사파이어 기판,DSP 사파이어 웨이퍼 |
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제품 설명
Al2O3 crystaACl Dia100mm <0001> M축 4인치 사파이어 웨이퍼 두께 500UM 600um 양면 광택 SSP 또는 DSP
부품 오리엔테이션을 위한 일반적인 선택:
왜 사파이어인가?
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0도: 시야 방향이 수정의 광축과 평행합니다.
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90도: 시야 방향이 결정의 광축에 수직입니다.
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C-축: 막대에서 길이 방향.창에서 면에 수직인 방향입니다.
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M-Plane: 광축(C)을 포함하고 A-축에 대해 30도 기울어진 평면
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A-Plane: C-축을 포함하는 A-축에 수직인 평면
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R-Plane: M-평면과 동일한 영역에서 광축에 대해 57.5667도 기울어진 평면.
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랜덤: 부품과 결정 방향 사이에 지정된 관계가 없습니다.부품은 방향에 대한 걱정 없이 제조됩니다.
4인치 c축 웨이퍼 상세
크기: 4인치 DSP-500-C-축
자료: 기포 없는 KY 사파이어 Al2O3 단결정, 색깔;
오리엔테이션: C-컷, M-축 오프 0.0+/-0.2°;
직경: 100.0 +/-0.2mm ;
두께: 600 ± 15um 또는 500±15um ;
OF 평면: 16.0 +/- 1.0 mm ; 또는 원형
OF 방향: a-축
표면: 닦는 SSP /dsp Epi-ready;
TTV<= 10um ; BOW<= 10um ; 워프<= 20um ;
전면 거칠기(Ra) Ra <= 0.3 nm ; 또는 양면
후면 거칠기(Ra) Ra = 1.0 +/-0.2um ;
가장자리: 1mm에서 ;
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표준 웨이퍼
2인치 C면 사파이어 웨이퍼 SSP/DSP
3인치 C면 사파이어 웨이퍼 SSP/DSP 4인치 C면 사파이어 웨이퍼 SSP/DSP 6인치 C면 사파이어 웨이퍼 SSP/DSP |
특별 오리엔테이션
A면(1120) 사파이어 웨이퍼 R면(1102) 사파이어 웨이퍼 M면(1010) 사파이어 웨이퍼 A-축 또는 M-축을 향해 0.5°~ 10° 오프컷이 있는 C-축 기타 맞춤형 오리엔테이션 |
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주문을 받아서 만들어진 크기
10x10x0.5mm 사파이어 웨이퍼 20x20x0.5mm 사파이어 웨이퍼 초박형(100um) 2인치 사파이어 웨이퍼 8인치 사파이어 웨이퍼 |
패턴 사파이어 기판(PSS)
2인치 C-플레인 PSS 4인치 C-플레인 PSS |
| 2인치 |
DSP C-축 0.1mm/0.175mm/0.2mm/0.3mm/0.4mm/0.5mm/1.0mmt SSP C축 0.2/0.43mm (DSP＆SSP) A축/M축/R축 0.43mm
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| 3인치 |
DSP/ SSP C축 0.43mm/0.5mm
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| 4인치 |
dsp c-축 0.4mm/0.5mm/1.0mm ssp c-축 0.5mm/0.65mm/1.0mmt
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| 6인치 |
ssp c축 1.0mm/1.3mm
dsp c-축 0.65mm/0.8mm/1.0mmt
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