상세 정보 |
|||
Purity: | 99.9% | Color: | Black |
---|---|---|---|
Density: | 3.14g/cm3 | Poisson's ratio: | 0.17 |
Fracture toughness: | 2~3MPa m1/2 | MPa m1/2: | 4.1 |
강조하다: | 반도체 실리콘 카바이드 세라믹 트레이,소재: 실리콘 카바이드 세라믹 트레이 |
제품 설명
실리콘 카비드 세라믹 트레이 반도체 웨이퍼를 지원하는 재료로 사용됩니다.
실리콘 카바이드 세라믹 트레이
실리콘 카바이드 (SiC) 세라믹 트레이는 제조 과정에서 반도체 웨이퍼를 지원하기 위해 설계된 특수 부품입니다.이 트레이는 공격적인 화학 환경에 견딜 수 있습니다., 반도체 제조에 사용하기에 이상적입니다. 높은 열 안정성과 기계적 강도는 고온 응용 프로그램에서 신뢰할 수있는 성능을 보장합니다.에피택시와 같은 중요한 과정에 안정적인 플랫폼을 제공, 확산 및 산화. SiC 세라믹 트레이의 다재다능성과 내구성은 다양한 첨단 제조 환경에서 필수적이며 생산의 효율성과 품질을 향상시킵니다.
실리콘 카바이드 세라믹 트레이의 데이터 차트
제조업자 | ASUZAC | ASUZAC | 회사 A | 회사 B | 회사 C | |
---|---|---|---|---|---|---|
제품 이름 | ASiC | SiC3N | ||||
제조 방법 | 정상압으로 시너지 | 정상압으로 시너지 | 고온 압축 | 심혈관 질환 | 시-시-C | |
밀도 | g·cm3 | 3.15 | 3.18 | 3.15 | 3.21 | 3.05 |
비커의 단단함 | 28 | 28 | 22 | 26 | ─ | |
융통력 | MPa | 410 | 450 | 600 | 590 | 220 |
탄력성 | GPA | 430 | 430 | 390 | 450 | 280 |
골절 강도 | Mpa/cm^05 | 2.5 | 2.5 | 4.4 | ─ | ─ |
열 확장 | E-6/K | 4.1 | 4.1 | 4.3 | 4 | 4.8 |
열전도성 | W/m•K | 170 | 140 | 230 | 250 | 225 |
실리콘 카바이드 세라믹 트레이의 특성
-
높은 열 안정성:
극한 온도에도 견딜 수 있어 합금 및 반도체 가공과 같은 고온 애플리케이션에 적합합니다. -
기계적 강도:
뛰어난 강도와 강도를 보여 내구성을 제공하고 변형이나 균열없이 무거운 짐을 견딜 수 있습니다. -
화학 저항성:
부식 및 화학 공격에 매우 저항력이 있어 공격적인 환경, 특히 화학 처리 및 제조에서 사용할 수 있습니다. -
열전도성:
효율적인 열 분배를 촉진하고 일관된 처리 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. -
낮은 열 확장:
열 확장 계수가 낮아서 차원의 안정성을 보장하고 다양한 온도 조건에서 변형 또는 균열의 위험을 줄입니다. -
가벼운 무게:
강도와 내구성에도 불구하고 SiC 세라믹 트레이는 상대적으로 가벼워 제조 과정에서 손쉽게 다루고 운송할 수 있습니다. -
전기 단열:
우수한 전기 단열 특성을 제공하여 전기 전도도를 최소화하는 것이 중요한 전자 응용 프로그램에 적합합니다. -
CVD 코팅 옵션:
많은 SiC 세라믹 트레이에는 화학 증기 퇴적 (CVD) 코팅이 적용되어 마모 저항성을 높이고 열 충격으로부터 추가 보호를 제공합니다. -
사용자 정의 가능성:
다양한 크기와 모양으로 제조 할 수 있으며 특정 응용 요구 사항을 충족시키기 위해 사용자 정의 할 수 있습니다.
실리콘 카비드 세라믹 트레이의 응용
-
반도체 제조:
SiC 세라믹 트레이는 고품질 결과를 보장하는 에피택시, 확산 및 산화 등 제조 과정에서 실리콘 웨이퍼를 지원하는 데 필수적입니다. -
고온 합금:
이 트레이는 첨단 세라믹의 생산에 사용되며, 합금 과정에서 요구되는 극한 온도에 견딜 수 있는 안정적인 플랫폼을 제공합니다. -
화학 가공:
뛰어난 화학 저항성으로 인해 SiC 트레이는 실험실과 산업 환경에서 공격적인 화학 물질을 처리하는 데 이상적입니다.반응 용기 및 증류 기둥에서 자주 사용됩니다.. -
전자제품 생산:
SiC 트레이는 전자 장치의 제조에서 기판으로 사용되며, 그들의 단열 특성과 열 전도성은 전반적인 성능과 신뢰성을 향상시킵니다. -
광 부품 제조:
광학 부품의 제조에 사용되는 SiC 트레이는 정확한 온도 조절을 필요로하는 소재를 지원하여 고품질의 광학 성능을 제공합니다. -
항공우주 및 자동차용 애플리케이션:
SiC 세라믹 트레이는 가볍고 고강성 특성으로 항공우주 및 자동차 산업에서 사용됩니다.특히 효율적인 열 관리와 부식 저항을 요구하는 부품. -
연구 개발:
연구개발 환경에서 이러한 트레이는 고온 또는 부식성 물질을 포함하는 실험 설치를 위해 사용되며 혁신적인 재료 테스트를 위한 견고한 플랫폼을 제공합니다. -
의료기기 제조:
실리콘 카바이드 트레이는 의료 기기 생산에 사용되며 처리 환경에서 살균 기능과 화학 저항성을 제공합니다.
실리콘 카바이드 세라믹 트레이의 사진