시C 세라믹 트레이 플레이트 웨이퍼 홀더

시크리컬 크로믹 트레이/플릿/와퍼 홀더

SiC (실리콘 탄화물) 세라믹 트레이의 요약

실리콘 카바이드 (SiC) 세라믹 트레이는 내구성, 고온 안정성 및 우수한 열 전도성을 필요로하는 산업에서 널리 사용되는 고성능 재료입니다.높은 강도로 알려져 있습니다., 착용 저항성, 화학적 무력성, 열 충격 저항성, 반도체 제조, 재료 취급 및 고온 공정과 같은 까다로운 응용 프로그램에 이상적입니다..이 트레이는 특히 반도체 제조 과정에 사용하기에 적합합니다. ICP (인도 짝 플라즈마) 에치 및 부피 성장과 같은,정확한 온도 조절과 재료의 무결성이 중요한 경우.

SiC 세라믹 트레이의 특성

SiC 세라믹 트레이는 반도체 제조 및 재료 취급과 같은 산업에서 요구되는 높은 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 다음은 SiC 세라믹 트레이의 주요 특성입니다.

1높은 열전도성

SiC는 세라믹 중 가장 높은 열전도성을 가지고 있습니다. 이것은 SiC 세라믹 트레이가 고온 공정에서 열을 효율적으로 분산 할 수있게합니다.반도체 발열과 대동성 성장과 같은 산업에서, 정확한 온도 조절이 중요한 경우, SiC의 열 전도성은 물질이 분해되지 않고 높은 온도에서 견딜 수 있고 작동 할 수 있음을 보장합니다.

2. 탁월 한 착용 저항성

SiC의 내재된 경도는 마모와 마모에 대한 뛰어난 저항력을 제공합니다. 이것은 트레이가 기계적 스트레스에 노출되는 환경에서 특히 중요합니다.예를 들어 웨이퍼 취급, 운송, 또는 기판 처리. SiC 트레이는 내구성 있고 오래 지속되며 산업용 응용 프로그램에서 반복적으로 사용할 수있는 신뢰할 수있는 선택입니다.

3부식 및 화학 저항성

SiC는 부식 및 화학 공격에 매우 내성이 있어 다른 재료가 분해 될 수있는 환경에서 사용할 수 있습니다.그리고 반도체 에치 프로세스 또는 화학 처리에서 흔히 발견되는 다른 부식 물질.

4고온 안정성

SiC는 매우 높은 온도에서도 구조적 무결성을 유지합니다.SiC 세라믹 트레이는 ICP (인도 짝 플라즈마) 에치 및 부피 성장과 같은 과정에서 발생하는 높은 온도에 견딜 수 있습니다.이 높은 온도 허용은 SiC 트레이가 극단적인 조건에서 왜곡되거나 변형되지 않도록합니다.

5전기 단열

SiC 세라믹은 전기 단열성으로 전기적 특성이 매우 중요한 반도체 처리 환경에서 사용하기에 적합합니다.윗부분에 윗부분에 윗부분에, SiC의 전기 단열 특성은 원치 않는 전기 간섭을 방지하는 데 도움이 될 수 있습니다.

SiC 세라믹 트레이의 응용

SiC 세라믹 트레이는 다양한 산업에 사용되며, 특히 고온 안정성, 마모 저항성 및 화학 탄력성이 필요한 산업에 사용됩니다. 아래는 주요 응용 프로그램 중 일부입니다.:

1반도체 산업

반도체 산업에서 SiC 세라믹 트레이는 웨이퍼 취급에 널리 사용되며, 특히 발열 및 대각성 성장 과정에 사용됩니다.얇은 필름의 패턴을 만드는 널리 사용되는 기술, 온도 및 재료 무결성에 대한 정확한 통제가 필요합니다. SiC 트레이는 열 관련 손상을 최소화하여 우수한 열 관리를 제공하기 때문에이 프로세스에 이상적입니다.

또한 SiC 트레이는 피상성 성장 과정, 물질의 얇은 층이 기판에 퇴적됩니다. SiC의 높은 열 전도성은 온도 분포를 균일하게 유지하는 데 도움이됩니다.이는 실리콘 카바이드 또는 실리콘 웨이퍼에 균일한 성장과 고품질의 층을 달성하는 데 결정적입니다..

2재료 처리

SiC 세라믹 트레이는 고온 환경에서 물질을 취급하고 운송하는 데 사용됩니다. 예를 들어 고성능 세라믹, 금속,그리고 복합재료, 다른 재료가 열 팽창 또는 화학적 상호 작용으로 인해 실패 할 수 있습니다. SiC 트레이는 오븐, 오븐 및 기타 극단적 인 환경에서 물질을 이동하기위한 견고한 솔루션을 제공합니다.

3LED 및 태양전지 생산

SiC?? 의 특성은 특히 LED 및 태양 전지 생산에 유용합니다. LED의 제조 과정에서 웨이퍼는 높은 온도와 기계적 스트레스에 노출됩니다.SiC 세라믹 트레이를 생산의 다양한 단계에서 기판을 취급하고 지원하는 이상적인 재료로 만드는마찬가지로, 태양전지 제조에서, SiC 트레이는 도핑 및 에칭과 같은 과정 중에 웨이퍼를 처리하는 데 사용됩니다.

4항공 및 자동차

SiC 세라믹 트레이는 고온 성능이 중요한 항공 및 자동차 응용 분야에도 사용됩니다.터빈에서 발견되는 것과 같은 극한 조건에 견딜 수 있어야 하는 부품, 로켓 엔진 및 고성능 브레이킹 시스템이 트레이는 제조 또는 테스트 중에 특정 온도와 환경에서 유지되어야하는 재료의 취급 및 처리를 지원합니다..

SiC 세라믹 트레이 의 장점

1효율성 증대

SiC의 높은 열전도성으로 인해 열이 효율적으로 분산되어 발열과 성장과 같은 과정에서 민감한 구성 요소에 대한 열 손상을 방지합니다.이것은 더 정확하고 일관성 있는 결과로 이어집니다., 생산 라인의 전반적인 효율성을 높입니다.

2비용 효율성

SiC는 프리미엄 재료이지만 내구성 및 긴 수명은 자주 교체 할 필요성을 줄입니다. 이것은 SiC 세라믹 트레이를 장기적으로 비용 효율적인 옵션으로 만듭니다.그들의 장수성과 성능은 정지시간과 유지보수 비용을 줄이는 데 도움이됩니다..

3향상된 프로세스 제어

고온 및 반도체 처리 응용 프로그램에서 SiC 트레이의 사용은 환경에 대한 더 나은 통제를 가능하게합니다.웨이퍼 또는 기판이 최적의 조건에 노출되도록 보장합니다.이것은 특히 반도체 제조업과 같은 산업에서 정확성과 품질이 가장 중요한 제품으로 이어집니다.

4환경 저항성

산화, 부식,그리고 화학적 손상은 SiC 세라믹 트레이가 반도체 제조 및 다른 첨단 기술 산업에서 종종 발생하는 혹독한 조건에 견딜 수 있음을 보장합니다.이 환경 복원성은 까다로운 응용 프로그램에서 트레이의 수명과 신뢰성에 기여합니다.

결론

SiC 세라믹 트레이는 극한 조건에 견딜 수 있는 고성능 물질을 필요로 하는 산업에서 중요한 구성 요소입니다.화학적 안정성, 그리고 높은 온도 내성이 반도체 제조, 재료 취급, 그리고 수많은 다른 응용 분야에서 필수적입니다.그리고 정확성, SiC 세라믹 트레이는 제조업체에게 공정 통제와 제품 품질을 향상시키는 데 도움이되는 신뢰할 수 있고 오래 지속되는 솔루션을 제공합니다.산업은 더 높은 성능과 더 탄력적인 재료를 계속 요구하고 있습니다., SiC 세라믹 트레이의 사용은 다양한 첨단 기술 분야에서 중요성이 계속 커질 것입니다.

질문 & 답변

Q:SiC 세라믹 트레이는 맞춤화 될 수 있습니까?

A: 예, SiC 세라믹 트레이는 크기, 모양 및 표면 마무리 등 특정 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의 할 수 있습니다. 사용자 정의는 특정 프로세스에서 최적의 성능을 제공합니다.웨이퍼 취급 등, 기판 운송, 또는 특정 발각 및 성장 조건.

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