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상세 정보 |
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| Heating Method: | Graphite Resistance Heating | Input Power: | Three-phase, five-wire AC 380V ± 10% 50Hz~60Hz |
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| 최대 가열 온도: | 2300 ° C | Rated Heating Power: | 80kW |
| Heater Power Range: | 35kW ~ 40kW | 사이클 당 에너지 소비: | 3500kW · h ~ 4500kW · h |
| Crystal Growth Cycle: | 5D ~ 7D | Main Machine Size: | 2150mm x 1600mm x 2850mm (Length x Width x Height) |
| 강조하다: | 8 인치 SiC 잉크 성장 오븐,6인치 SiC 잉크 성장 오븐,4 인치 SiC 잉그트 성장 오븐 |
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제품 설명
SiC 오븐 SiC 잉그트 성장 오븐 4인치 6인치 8인치 PVT 레리 TSSG LPE 방법 높은 성장률
SiC 인고트 성장 오븐의 요약
SiC 인고트 성장 오븐은 그래피트 저항 가열을 사용하여 효율적인 실리콘 탄화물 결정 성장을 위해 설계되었습니다.최대 난방 온도 2300°C와 명산 전력 80kW로 작동합니다.오븐은 5D에서 7D까지의 결정 성장 주기로 3500kW·h에서 4500kW·h 사이의 에너지 소비를 지원합니다. 오븐의 크기는 2150mm x 1600mm x 2850mm입니다.냉각용 물의 흐름은 6m3/h입니다.오븐은 대기 가스로 아르곤과 질소를 가지고 진공 환경에서 작동하여 고품질의 잉글리 생산을 보장합니다.
SiC 인고트 성장 오븐의 사진
우리의 SiC 잉글트 성장 오븐의 크리스탈 특수 크리스탈 유형
SiC는 250개 이상의 결정 구조를 가지고 있지만, SiC 전력 장치에 4HC 유형만 사용할 수 있습니다.ZMSH는 고객들이 자신의 오븐을 사용하여 이 특정 결정 유형을 여러 번 재배하는 데 성공했습니다..
우리의 SiC 잉그트 성장 오븐은 고효율의 실리콘 탄화물 (SiC) 결정 성장을 위해 설계되었으며, 4인치, 6인치, 8인치 SiC 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.PVT (Physical Vapor Transport) 와 같은 첨단 기술을 이용합니다., 렐리, TSSG (온도 경사방법), 그리고 LPE (액성 단계 Epitaxy), 우리의 오븐은 최적의 결정 품질을 보장하는 동시에 높은 성장률을 지원합니다.
오븐은 전도성 4H, 반열성 4H 및 6H, 2H 및 3C와 같은 다른 결정 유형을 포함하여 다양한 SiC 결정 구조를 성장하도록 설계되었습니다.이 구조들은 SiC 전력 장치와 반도체 생산에 매우 중요합니다., 전력 전자, 에너지 효율 시스템 및 고전압 장치의 응용에 필수적입니다.
우리의 SiC 오븐은 정밀한 온도 조절과 균일한 결정 성장 조건을 보장하여 고급 반도체 애플리케이션을 위해 고품질의 SiC 잉글릿과 웨이퍼를 생산할 수 있습니다.
우리의SiC 인고트성장 비료의 장점
1 - 고유 열장 설계
- 축적 온도 기하수는 조절할 수 있고, 방사선 온도 기하수는 조절할 수 있고, 온도 프로필은 매끄럽고, 그 결과 결정 성장 인터페이스가 거의 평평합니다.따라서 크리스탈 활용 두께를 증가.
- 원자재 소비 감소: 내부 열장이 균일하게 분포하여 원자재 내에서 더 균일한 온도 분포를 보장합니다.분말 사용량을 크게 향상시키고 폐기물을 줄이십시오..
- 축적 온도와 방사선 온도 사이에 강한 결합이 없으므로 축적 온도와 방사선 온도 등등의 고정도 제어가 가능합니다.이것은 결정의 스트레스를 해결하고 결정의 굴절 밀도를 줄이는 열쇠입니다..
2- 높은 제어 정확성
SiC 인고트 성장 오븐은 특히 고품질의 실리콘 카비드 (SiC) 크리스탈을 생산하기 위해 설계되었습니다.광전자, 및 에너지 효율적인 장치. SiC는 높은 열 전도성, 전기 효율성 및 내구성을 필요로 하는 부품의 생산에 필수적인 재료입니다.우리의 오븐은 일관성 확보를 위해 고급 제어 시스템으로 장착되어 있습니다, 최적의 성능과 결정 품질.
이 장비는 전원 공급 정확도 0.0005%, 가스 흐름 정확도 ±0.05 L/h, 온도 조절 정확도 ±0.5°C,방압 조절 정확도 ±10 Pa이러한 정확한 매개 변수는 고순도 SiC 진구와 웨이퍼를 최소 결함으로 생산하는 데 필수적인 안정적이고 균일한 결정 성장 환경을 만듭니다.
이 시스템의 주요 구성 요소인 비율 밸브, 기계 펌프, 진공 챔버, 가스 흐름 미터 및 분자 펌프 등이 안정적인 성능을 보장하기 위해 함께 작동합니다.재료 사용률을 향상이 요소들은 반도체 산업의 까다로운 표준에 부합하는 고품질 SiC 결정을 생산할 수 있는 가공소의 능력에 기여합니다.
ZMSH의 기술은 크리스탈 성장 과정의 최신 발전을 통합하여 SiC 크리스탈 생산의 최고 표준을 보장합니다.고성능 SiC 기반 부품에 대한 수요가 늘어나면서, 우리의 장비는 파워 전자, 재생 에너지, 첨단 기술 개발과 같은 산업을 지원하도록 설계되었습니다,에너지 효율적인 솔루션과 지속 가능한 응용 분야에 대한 혁신을 촉진.
3- 자동화 작동
자동 반응신호 모니터링, 신호 피드백
자동 경보초과 경계 경고, 동적 안전
자동 제어생산 매개 변수, 원격 액세스 및 제어 실시간 모니터링 및 저장.
액티브 프롬프트전문가 시스템, 인간-기계 상호 작용
ZMSH의 SiC 오븐은 효율적인 운영을 위해 고급 자동화 장치가 장착되어 있습니다.자동 반응신호 모니터링과 피드백을 갖춘자동 경보초과 한계 조건의 경우,자동 제어원격 접속으로 실시간 매개 변수 모니터링을 위한 시스템액티브 프롬프트전문가 지원과 원활한 인간-기계 상호 작용을 위해
이러한 특징은 인간 의존도를 줄이고 프로세스 통제를 강화하며 고품질의 SiC 잉글리 생산을 보장하여 대규모 제조 효율성을 지원합니다.
우리의 SiC 잉글트 성장 오븐의 데이터 시트
| 6인치 시크 오븐 | 8인치 시크 오븐 | ||
| 프로젝트 | 매개 변수 | 프로젝트 | 매개 변수 |
| 가열 방법 | 그래피트 저항 난방 | 가열 방법 | 그래피트 저항 난방 |
| 입력 전력 | 3단계, 5선 AC 380V ± 10% 50Hz~60Hz | 입력 전력 | 3단계, 5선 AC 380V ± 10% 50Hz~60Hz |
| 최대 난방 온도 | 2300°C | 최대 난방 온도 | 2300°C |
| 가등열력 | 80kW | 가등열력 | 80kW |
| 히터 전력 범위 | 35kW ~ 40kW | 히터 전력 범위 | 35kW ~ 40kW |
| 주기당 에너지 소비 | 3500kW·h ~ 4500kW·h | 주기당 에너지 소비 | 3500kW·h ~ 4500kW·h |
| 크리스탈 성장 순환 | 5D ~ 7D | 크리스탈 성장 순환 | 5D ~ 7D |
| 주요 기계 크기 | 2150mm x 1600mm x 2850mm (길이 x 너비 x 높이) | 주요 기계 크기 | 2150mm x 1600mm x 2850mm (길이 x 너비 x 높이) |
| 주 기계 무게 | ≈ 2000kg | 주 기계 무게 | ≈ 2000kg |
| 냉각 물 흐름 | 6m3/h | 냉각 물 흐름 | 6m3/h |
| 냉동 오븐 제한 진공 | 5 × 10−4 Pa | 냉동 오븐 제한 진공 | 5 × 10−4 Pa |
| 오븐 대기 | 아르곤 (5N), 질소 (5N) | 오븐 대기 | 아르곤 (5N), 질소 (5N) |
| 원료 | 실리콘 탄화물 입자 | 원료 | 실리콘 탄화물 입자 |
| 제품 크리스탈 타입 | 4H | 제품 크리스탈 타입 | 4H |
| 제품 결정 두께 | 18mm ~ 30mm | 제품 결정 두께 | ≥ 15mm |
| 결정 의 실제 지름 | ≥ 150mm | 결정 의 실제 지름 | ≥ 200mm |
우리의 서비스
맞춤형 단점 솔루션
우리는 PVT, Lely, 그리고 TSSG/LPE 기술을 포함한 맞춤형 실리콘 카비드 (SiC) 오븐 솔루션을 제공합니다.우리는 우리의 시스템이 당신의 생산 목표와 일치하는지 확인합니다..
고객 교육
우리는 당신의 팀이 우리의 오븐을 작동하고 유지 관리하는 방법을 완전히 이해하도록 포괄적인 교육을 제공합니다. 우리의 교육은 기본적인 운영에서 고급 문제 해결에 이르기까지 모든 것을 포함합니다.
현장 설치 및 운용
우리 팀은 개인적으로 SiC 오븐을 설치하고 운영합니다. 우리는 원활한 설치를 보장하고 시스템이 완전히 작동하는지 보장하기 위해 철저한 검증 과정을 수행합니다.
판매 후 지원
우리는 반응적인 판매 후 서비스를 제공합니다. 우리의 팀은 현장 수리 및 문제 해결에 도움을 줄 준비가 되어 있습니다.
우리는 고품질의 오븐과 지속적인 지원을 제공하는 데 전념하고 있습니다.