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| 브랜드 이름: | ZMSH |
| 모델 번호: | 엔드 이펙터 |
| MOQ: | 1 |
| 가격: | by case |
| 포장에 대한 세부 사항: | 맞춤형 상자 |
| 지불 조건: | T/T |
의SiC 세라믹 포크 팔, 또한세라믹 끝 효과기, 반도체 제조에서 초정결하고 고정밀 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계 된 고성능 로봇 부품입니다.실리콘카바이드 (SiC) 세라믹, 이 끝 효과기는 뛰어난 기계적 강도, 낮은 열 확장, 그리고 우수한 화학 저항을 제공합니다.고온 지역, 그리고 부식성 가스 대기.
전통적인 금속 또는 쿼츠 끝 효과기와 달리, SiC 세라믹 포크 팔은 최소한의 입자 생성과 열 왜곡을 보장합니다.웨이퍼 전송을 위한 장기적인 신뢰성 및 정밀 정렬, 위치 및 로딩/해하 작업.
의SiC 세라믹 끝 효과제이 물질은반응 결합 실리콘 카비드 (RB-SiC)또는압력 없는 합금 실리콘 카비드 (SSiC)생산 과정은 일반적으로 다음을 포함합니다.
파우더 처리: 높은 순수성 SiC 분말은 결합 물질과 첨가 물질과 혼합됩니다.
Molding/Molding: 냉동 동역 압축 (CIP) 또는 주사 폼핑과 같은 기술을 사용하여 얇은 포크 팔 또는 톱니 구조를 포함한 복잡한 기하학을 형성합니다.
시너지: 2000°C 이상의 온도에서 열처리가 높은 밀도, 강도 및 미세 구조 균일성을 보장합니다.
정밀 가공: CNC 밀링 및 다이아몬드 롤링은 미크론 및 초평면까지 차원 허용을 달성하기 위해 사용되며 웨이퍼에 대한 손상을 최소화합니다.
최종 검사: 파괴적이지 않은 테스트 (NDT), 차원 검사 및 표면 거칠성 테스트는 각 세라믹 끝 효과기가 반도체 수준의 표준을 충족하는지 보장합니다.
이 모든 과정은끝효율자뛰어난 경직성, 가벼운 성질, 그리고 어려운 작업 환경에서 반응성이 없습니다.
의SiC 세라믹 포크 팔 / 끝 효과기반도체, 태양광 및 마이크로 전자 분야에서 널리 사용됩니다. 주요 응용 분야는 다음을 포함합니다:
웨이퍼 전송 시스템: IC 제조 도중 6~12인치 웨이퍼를 취급하기 위해.
진공실 내 의 로봇 무기: CVD, ALD 및 드라이 에칭 프로세스에서 픽 앤 플레이스를 위해.
FOUP/FOSB 로딩 포트: 웨이퍼를 운반자와 프로세스 모듈 사이에 전송하는 로봇 시스템에 통합.
청정실 자동화: 고출력 반도체 생산 라인에서 극정 깨끗한 취급이 필수적입니다.
레이저 가공 또는 반열: 높은 온도 저항성 및 오염되지 않는 것이 중요합니다.
그끝효율자기능은 기계적 스트레스 또는 오염없이 반도체 웨이퍼의 섬세하지만 단단한 잡지를 보장합니다.
높은 순수성: 오염에 대한 탁월한 저항성
열 안정성: 열순환에 따라 딱딱함과 모양을 유지합니다.
낮은 열 확장: 열 변형을 방지하고 웨이퍼 정렬을 개선합니다.
화학물질 저항성: 부식 가스와 플라즈마 환경에 무활성.
기계적 강도: 기계적 부하에 의해 부서지고, 쪼개지고, 변형되는 것을 견딜 수 있습니다.
표면 평면성: 초 부드러운 접촉 표면으로 웨이퍼가 긁힐 위험이 감소합니다.
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CVD-SIC 코팅의 주요 사양 |
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SiC-CVD 속성 |
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결정 구조 |
FCC β단계 |
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밀도 |
g/cm 3 |
3.21 |
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단단함 |
비커스 강도 |
2500 |
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곡물 크기 |
μm |
2~10 |
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화학 순수성 |
% |
99.99995 |
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열 용량 |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
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수브리메이션 온도 |
°C |
2700 |
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가축 강도 |
MPa (RT 4점) |
415 |
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영의 모듈 |
Gpa (4pt 굽기, 1300°C) |
430 |
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열 팽창 (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
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열전도성 |
(W/mK) |
300 |
Q1: 왜 쿼츠나 알루미늄보다 SiC 세라믹 끝 효과기를 선택합니까?
A1:SiC 세라믹은 특히 가혹한 플라즈마 또는 고온 환경에서 쿼츠 또는 금속 물질에 비해 뛰어난 열 저항성, 기계적 강도 및 더 긴 수명성을 제공합니다.
Q2: 제 로봇이나 웨이퍼 크기에 맞게 세라믹 포크 팔을 사용자 정의 할 수 있습니까?
A2:네, 우리는 포크 팔 기하학, 슬롯 크기와 장착 인터페이스의
Q3: 이러한 최종 효과자는 진공 또는 플라즈마 시스템에서 사용하기에 안전합니까?
A3:물론입니다. SiC 세라믹은 화학적 무활성성과 낮은 배출가스 때문에 초고 진공 (UHV), 플라즈마 에칭, 반응 이온 에칭 (RIE) 환경과 완전히 호환됩니다.
Q4: SiC 세라믹 포크 팔은 반복 사용 하에 얼마나 내구성 있습니까?
A4:높은 경화성과 강도는 반복적인 열순환과 기계적 취급을 손상없이 견딜 수 있도록 해 지속적인 생산 환경에 이상적입니다.
Q5: 각 최종 효과에 대한 테스트 또는 인증을 제공합니까?
A5:예, 모든 제품 은 엄격 한 차원 검사, 평면성 검사 및 재료 검증 을 거친다. 적합성 인증서 (CoC) 와 시험 보고서는 요청 에 따라 제공 될 수 있다.
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ZMSH는 첨단 기술 개발, 생산 및 특수 광학 유리 및 새로운 결정 물질의 판매에 특화되어 있습니다. 우리의 제품은 광학 전자, 소비 전자 및 군대를 제공합니다.우리는 사피어 광학 부품을 제공합니다., 휴대 전화 렌즈 커버, 세라믹스, LT, 실리콘 카비드 SIC, 쿼츠, 반도체 크리스탈 웨이퍼.,선도적인 광전자 재료 첨단 기술 기업으로 진출하는 것을 목표로 합니다.
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