이온 빔 연마기
원자 수준 정밀도 · 비접촉 가공 · 초평활 표면

이온 빔 연마기 제품 개요
 

CNC 이온 빔 형상화/연마기는 이온 스퍼터링 원리를 기반으로 작동합니다. 진공 상태에서 이온 소스는 플라즈마 빔을 생성하고, 이 빔은 이온 빔으로 가속되어 공작물 표면에 충돌하여 원자 수준의 재료 제거를 수행하여 광학 부품의 초정밀 가공을 가능하게 합니다.

이 기술은 비접촉 가공을 제공하며, 기계적 응력이나 표면 아래 손상이 없어 천문학, 항공 우주, 반도체 및 과학 연구 분야의 고정밀 광학에 이상적입니다.

이온 빔 연마기의 작동 원리  – 평면 광학에서 복잡한 자유형까지

• – 불활성 가스(예: 아르곤)를 진공 챔버에 도입하고 전기 방전 필드로 이온화합니다.이온 가속 및 빔 형성

• – 이온은 수백 또는 수천 전자 볼트(eV)로 가속되고 초점 광학 장치에 의해 안정적인 빔 스폿으로 형성됩니다.재료 제거

• – 이온 빔은 화학 반응 없이 표면 원자를 물리적으로 스퍼터링합니다.오차 측정 및 경로 계획

• – 표면 형상 오차는 간섭계를 통해 측정된 다음 제거 함수를 사용하여 빔 체류 시간을 계산하고 가공 경로를 생성합니다.폐쇄 루프 보정

• – RMS/PV 목표가 달성될 때까지 가공 및 측정 주기가 반복됩니다.이온 빔 연마기의 장비 특징 

비접촉 가공 – 평면 광학에서 복잡한 자유형까지

• 안정적인 제거율 – 서브나노미터 형상 보정 정확도

• 표면 아래 손상 없음 – 광학적 무결성 유지

• 높은 일관성 – 경도가 다른 재료 간의 최소 변동

• 저/중주파수 보정 – 중/고주파수 오차 발생 없음

• 낮은 유지 보수 비용 – 최소한의 가동 중단 시간으로 장기간 연속 작동

• 이온 빔 연마기의 장비 가공 능력 사용 가능한 표면:

단순 광학 부품: 평면, 구면, 프리즘 – 평면 광학에서 복잡한 자유형까지

특수 광학 부품: 초박형 광학, 슬랫 광학, 반구형 광학, 컨포멀 광학, 위상판, 자유형 표면, 기타 맞춤형 형상

• 사용 가능한 재료:

• 일반 광학 유리: 석영, 미세 결정, K9 등

• 적외선 광학: 실리콘, 게르마늄 등

금속: 알루미늄, 스테인리스강, 티타늄 합금 등

• 결정 재료: YAG, 단결정 탄화 규소 등

• 기타 경질/취성 재료: 탄화 규소 등

• 표면 품질 / 정확도:

• PV

• < 10 nm

RMS ≤ 0.5 nm

• 가공 능력원자 수준 제거 정밀도

• – 까다로운 광학 시스템을 위한 초평활 표면 구현

다양한 형상 호환성 – 평면 광학에서 복잡한 자유형까지

• 광범위한 재료 적응성 – 정밀 결정에서 경질 세라믹 및 금속까지

• 대구경 능력 – 최대 Φ4000 mm 광학 가공

• 확장된 안정적인 작동 – 진공 챔버 유지 보수 없이 3~5주 작동

• 이온 빔 연마기의 일반적인 모델 IBF350 / IBF750 / IBF1000 / IBF1600 / IBF2000 / IBF4000

• 동작 축: 3축 / 5축최대 공작물 크기: 최대 Φ4000 mm

항목

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• 가공 방법

• 진공 상태에서 이온 스퍼터링 재료 제거

사례 2 – X선 반사 거울

• 공작물: 150 × 30 mm 실리콘 평면

• 결과: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; 기울기 0.13 µrad

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사례 3 – 오프 축 거울

• 공작물: D326 mm 오프 축 연마 거울

• 결과: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

이온 빔 연마기의 응용 분야 

천문 광학

• – 대형 망원경 주/부 거울

• 우주 광학

– 위성 원격 감지, 심우주 영상

• 고출력 레이저 시스템 – ICF 광학, 빔 성형

• 반도체 광학 – 리소그래피 렌즈 및 거울

• 과학 계측 – X선/중성자 거울, 계측 표준 부품

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ZMSH는 특수 광학 유리 및 신규 결정 재료의 하이테크 개발, 생산 및 판매를 전문으로 합니다. 당사 제품은 광학 전자, 소비재 전자 및 군사 분야에 사용됩니다. 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 탄화 규소 SIC, 석영 및 반도체 웨이퍼를 제공합니다. 숙련된 전문 지식과 최첨단 장비를 통해 비표준 제품 가공에 탁월하며, 광전자 재료 하이테크 기업의 선두 주자가 되는 것을 목표로 합니다.