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제품 세부 정보

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세라믹 부품
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실리콘 카비드 세라믹 링 (SiC 세라믹 링)

실리콘 카비드 세라믹 링 (SiC 세라믹 링)

브랜드 이름: ZMSH
MOQ: 2
가격: 20USD
포장에 대한 세부 사항: 맞춤 상자
지불 조건: 티/티
상세 정보
원래 장소:
중국
공급 능력:
경우에 따라
제품 설명

제품 개요

실리콘 카비드 세라믹 링은 고순도 실리콘 카비드 (SiC) 세라믹으로 제조된 정밀 엔지니어링 부품입니다.우수한 부식 저항성, 높은 기계적 강도, 우수한 마모 저항, SiC 세라믹 고리는 반도체 제조 장비, 진공 시스템, 고온 오븐,그리고 정밀 산업용.

 

첨단 형성, 합금 및 정밀 가공 프로세스를 통해 이러한 구성 요소는 긴 차원 허용, 복잡한 기하학,그리고 우수한 표면 완공으로 까다로운 산업 요구 사항을 충족합니다..


주요 특징

1. 우수한 고온 성능

  • 고온 환경에서는 최대1600°C+소재 등급과 적용 조건에 따라
  • 높은 온도에서 기계적 강도 및 차원 안정성을 유지
  • 열 가공, 에피택시, 확산 및 고온 오븐 응용 프로그램에 이상적입니다.

2높은 순수성 및 낮은 오염

  • 고순도 실리콘카바이드 재료로 제조된 것
  • 소량 입자 생성 및 최소한의 금속 오염
  • 반도체 청정실 환경 및 웨이퍼 처리 애플리케이션에 적합

3뛰어난 부식 저항성

  • 산, 알칼리 및 플라스마 환경에 대한 탁월한 저항성
  • 공격적인 공정 가스에 대한 안정적인 성능Cl2, HCl, NF3
  • 반도체 에칭, CVD 및 PVD 장비에 적합합니다

4높은 기계적 강도 및 마모 저항

  • 약의 모스 경도는9
  • 장기 사용 기간에 우수한 경직 저항성
  • 정밀 지원 구조 및 기계 부품에 적합합니다.

5정밀 가공 능력

사용 가능한 가공 프로세스에는 다음이 포함됩니다.

  • 외부 지름과 내부 지름의 가공
  • 정밀 밀링 및 롤링
  • 엄격한 차원 및 기하학적 허용량 제어
  • 맞춤형 복합 구조

제품 사양

매개 변수 사양
소재 실리콘 카비드 (SiC)
소재 종류 합성 SiC / 반응 결합 SiC
색상 검은색 / 어두운 회색
외부 지름 맞춤형
내부 지름 맞춤형
두께 맞춤형
표면 거칠성 Ra ≤0.5μm (개인 조정 가능)
최대 작동 온도 1600°C까지
밀도 3.0·3.2g/cm3
단단함 ≥HV2000

신청서

반도체 제조 장비

  • 웨이퍼 지원 반지
  • 반도체 챔버 부품
  • CVD / PECVD 장비 부품
  • 에피타시얼 성장 오븐 부품
  • RTP (빠른 열처리) 부품
  • 웨이퍼 처리 및 지원 시스템

태양광 산업

  • 고온 오븐 부품
  • 열처리 장착장치
  • 실리콘 웨이퍼 지원 부품

진공 및 고온 시스템

  • 진공 오븐 부품
  • 난방 시스템 지원
  • 열 절연 구조

정밀 산업용

  • 마모에 저항하는 밀폐 고리
  • 펌프 부품
  • 위치 및 지원 부품

 

 

자주 묻는 질문들 (FAQs) 실리콘 탄산 세라믹 링 (SiC 세라믹 링)

Q1: 실리콘 탄화물 세라믹 링이란 무엇입니까?

A:실리콘 카비드 세라믹 링은 고순도 실리콘 카비드 (SiC) 로 제조된 정밀 세라믹 부품이다. 뛰어난 고온 저항, 부식 저항,기계적 강도, 그리고 마모 저항성, 반도체 장비, 진공 시스템 및 고온 애플리케이션에 적합합니다.


Q2: SiC 세라믹 링의 주요 장점은 무엇입니까?

A:SiC 세라믹 링은 몇 가지 장점을 제공합니다.

  • 우수한 고온 안정성 (물질 등급에 따라 1600°C+까지)
  • 플라즈마 및 화학적 부패에 대한 우수한 저항성
  • 높은 강도와 마모 저항성
  • 낮은 열 확장 및 우수한 차원 안정성
  • 반도체 애플리케이션을 위한 낮은 입자 생성

Q3: 어떤 산업에서 실리콘 카비드 세라믹 링을 사용합니까?

A:SiC 세라믹 링은 다음과 같이 널리 사용됩니다.

  • 반도체 제조 장비
  • CVD, PECVD 및 PVD 시스템
  • 웨이퍼 처리 및 취급 장비
  • 부근성장 시스템
  • 진공 오븐
  • 고온 산업 장비
  • 태양광 제조 장비