고온 가공용 실리콘 카비드 (SiC) 세라믹 트레이

전반적인 설명

실리콘 카비드 (SiC) 세라믹 트레이는 고성능 운송기입니다.고온에서의 안정성, SiC 트레이는 반도체 가공, LED 제조, 고급 재료 합금 및 고 순수 열 응용에 대한 선호 된 솔루션이되었습니다.그들의 내구성 및 낮은 오염 특성은 일관된 공정 신뢰성 및 긴 서비스 수명을 보장합니다..

물질적 특성

실리콘 탄화물 세라믹은 기존 알루미나와 쿼츠 트레이보다 물리적인 강도와 화학적 강도를 결합합니다.

• 고온 저항성:1600~1700 °C 이상 안정적인 성능, 고온 오븐에 적합하다.

• 우수한 열 충격 저항성:급속한 난방 및 냉각 순환

• 높은 강도 및 마모 저항성:기계적 스트레스로 인해 수명을 연장합니다.

• 낮은 열 팽창 (CTE):열순환 중에 차원 안정성을 보장합니다.

• 높은 열전도:균일한 열 분포를 촉진하고 합금 일관성을 향상시킵니다.

• 부식 및 산화 저항성:오염 위험을 크게 줄여줍니다.

• 낮은 배출가스:극정 깨끗한 과정에 적합합니다.

제조 과정

SiC 세라믹 트레이는 일반적으로압력 없는 합금,반응 결합 (RBSiC), 또는화학 증기 퇴적 (CVD-SiC)순수성 및 성능 요구 사항에 따라

• RBSiC (반응 결합 SiC):높은 강도, 뛰어난 열 충격 특성, 비용 효율성

• SSiC ( Sintered SiC):더 높은 순도, 더 높은 밀도, 더 나은 화학적 안정성, 반도체에 이상적입니다.

• CVD-SiC 코팅:첨단 웨이퍼 프로세스를 위해 매우 순수하고 pore-free, 부식 저항성 표면을 제공합니다.

각 생산 경로는 높은 균일성, 정확한 차원 제어 및 사용자 정의 가능한 기하학을 보장합니다.

주요 응용 분야

SiC 세라믹 트레이는 여러 산업에서 널리 사용됩니다.

반도체 및 마이크로 전자

• 웨이퍼 로딩, 고온 처리, LPCVD/PECVD 지원

• 확산, 산화, 빠른 열 과정

• 고순도 물질 운송 및 운송 플랫폼

LED 및 광전자 제조

• 사피어, 가안, 시크로소 (SiC) 와이퍼 시너링 및 앙일링

• 에피택시 및 고온 열처리 지원

파우더 금속 & 시너링

• 세라믹, 자기 물질 및 금속 분말 합금

• 고온 오븐 운반기 및 분리기

리?? 배터리 와 첨단 재료

• 파우더 연소, 포스파팅, 고온 코팅

• 첨단 에너지 소재에 대한 지원 장착장치

일반 산업용 오븐

• 고온 베이킹, 열처리, 열순환

SiC 세라믹 트레이의 장점

전통적인 그래피트, 알루미나 또는 금속 트레이와 비교하면 SiC 세라믹 트레이는 상당한 이점을 제공합니다.

• 더 긴 사용 기간반복되는 고온 주기로

• 더 적은 오염, 안정적인 프로세스 품질을 보장

• 더 높은 기계적 강도변형에 저항하기 위해

• 균일 열전도제품의 일관성을 향상시키기 위해

• 커스터마이징 가능한 디자인, 슬롯, 구멍, 굴곡 및 복잡한 기하학을 포함하여

• 청정실 및 진공 환경과 호환됩니다.

사용 가능한 사양

우리는 다음과 같은 표준 및 사용자 정의 디자인 트레이를 제공합니다.

• 평면 트레이, 포러스 트레이, 그리드 트레이

• 차원:일반적인 크기는 100~500mm입니다. 사용자 정의 할 수 있습니다.

• 두께:3~20mm 또는 고객의 요청에 따라

• 재료 옵션:RBSiC, SSiC, CVD-SiC

• 표면 가공:폴리싱, CVD 코팅, 캄퍼링, 레이저 마크링

사용자 지정 OEM/ODM 서비스는 특수 오븐 모델, 자동화 시스템 또는 특정 생산 라인에서 지원됩니다.

FAQ

Q1: RBSiC와 SSiC 트레이의 차이점은 무엇입니까?

RBSiC는 저렴한 비용으로 우수한 기계 강도를 제공하며, SSiC는 더 높은 순수성, 더 나은 부식 저항성을 제공하며 반도체 환경에 이상적입니다.

Q2: SiC 트레이는 빠른 열순환에 견딜 수 있습니까?

예, SiC는 뛰어난 열충격 저항력을 가지고 있어 빠른 난방과 냉각에 적합합니다.

Q3: 트레이 모양이 사용자 정의 될 수 있습니까?

물론이죠. 우리는 복잡한 기하학적 구조를 가진 접시를 만들 수 있습니다.

Q4: 높은 온도에서 작동하는 동안 SiC가 제품을 오염시킬 수 있습니까?

아니, SiC는 화학적으로 안정적이고 산화 저항적이며 소량의 배출가스가 있어 오염이 낮습니다.

Q5: SiC 트레이는 특정 청소 방법을 필요로합니까?

청소는 재료 등급에 따라 달라집니다. SSiC와 CVD-SiC는 산/기반 청소를 허용합니다. RBSiC는 표면 변경을 피하기 위해 온화한 방법을 필요로합니다.

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우리 에 관한 것

ZMSH는 첨단 기술 개발, 생산 및 특수 광학 유리 및 새로운 결정 물질의 판매에 특화되어 있습니다. 우리의 제품은 광학 전자, 소비 전자 및 군대를 제공합니다.우리는 사피어 광학 부품을 제공합니다., 휴대 전화 렌즈 커버, 세라믹스, LT, 실리콘 카비드 SIC, 쿼츠, 반도체 크리스탈 웨이퍼.,선도적인 광전자 재료 첨단 기술 기업으로 거듭나고자 합니다.