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8/6/4/2인치 LPCVD 산화 오븐 완전 자동화 저산소 제어 얇은 필름 퇴적

과학적인 실험실 장비
2025-04-29
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제품 개요 이 장비는 대량 생산을 위해 설계 된 고 효율, 완전 자동화 된 8 인치 수직 산화 LPCVD 오븐입니다. 그것은 훌륭한 필름 균일성과 반복성을 제공합니다.각종 산화를 지원합니다.이 시스템은 반도체 제조에 이상적인 MES 통합과 함께 21 카세트 자동 전송을 갖추고 있습니다. 작동 원칙 오븐은 수직 파이프 구조와 고급 저산소 미세 환경 제어 기능... 더 견해
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8/6/4/2인치 LPCVD 산화 오븐 완전 자동화 저산소 제어 얇은 필름 퇴적
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