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상세 정보 |
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| 사용: | 6 8 8 12 인치 SIC 단결정 성장 용광로 | 크기 (L × W × H): | 치수 (L × W × H) 또는 사용자 정의 |
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| 도가니 직경: | 900 밀리미터 | 누출율: | ≤5 PA/12H (베이크 아웃) |
| 회전 속도: | 0.5–5 rpm | 최대 퍼니스 온도: | 2500' Ｃ |
| 강조하다: | 크리스탈 성장 오븐,12인치 크리스탈 성장 오븐 |
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제품 설명
SiC 단일 결정 저항 가열 크리스탈 성장 오븐 6인치 8인치 12인치 SiC 웨이퍼 제조
SiC 단일 결정 성장 오븐의 추상
ZMSH는 고품질의 SiC 웨이퍼 제조를 위한 최첨단 솔루션인 SiC 싱글 크리스탈 성장 오븐을 제공하는 것을 자랑스럽게 생각합니다.우리의 오븐은 효율적으로 6인치 크기의 SiC 단일 결정 성장하도록 설계되었습니다, 8인치 및 12인치, 전기차 (EV), 재생 에너지 및 고전력 전자제품과 같은 산업의 증가하는 요구를 충족합니다.
SiC 단일 결정 성장 오븐의 특성
- 첨단 저항 난방 기술: SiC 단일 결정 성장 오븐은 최첨단 저항 난방 기술을 사용합니다.균일한 온도 분포와 고품질의 결정 성장을 보장합니다..
- 온도 조절 정확성: 결정 성장 과정 전체에서 ± 1 °C의 허용량으로 정확한 온도 조절을 달성합니다.
- 다재다능한 애플리케이션: 최대 12인치까지의 웨이퍼를 위한 SiC 크리스탈을 재배할 수 있으며, 차세대 전력 장치에 더 크고 고성능의 웨이퍼를 생산할 수 있다.
- 진공 및 압력 관리: 오븐은 진공 및 압력 제어 시스템으로 장착되어 있으며, 결정 성장에 최적의 조건을 유지하고 결함 비율을 줄입니다.그리고 생산량을 향상시키는.
- 아니 사양 세부 사항 1 모델 PVT-RS-40 2 크기 (L × W × H) 2500 × 2400 × 3456mm 3 크로시블 직경 900mm 4 최후 진공 압력 6 × 10−4 Pa (1.5시간 진공 후) 5 누출률 ≤5 Pa/12h (버킹 아웃) 6 회전 샤프트 지름 50mm 7 회전 속도 0.5~5회속 8 가열 방법 전기 저항 난방 9 최대 오븐 온도 2500°C 10 난방력 40kW × 2kW × 20kW 11 온도 측정 이색 적외선 피로미터 12 온도 범위 900~3000°C 13 온도 정확성 ± 1°C 14 압력 범위 1 ∼ 700 mbar 15 압력 조절 정확성 1·10 mbar: ±0.5% F.S.
10~100 mbar: ±0.5% F.S.
100~700 mbar: ±0.5% F.S16 작업 유형 바닥 로딩, 수동/자동 안전 옵션 17 선택 사항 이중 온도 측정, 여러 난방 구역
SiC 단일 결정 성장 오븐의 결과
완전 한 결정 성장
우리의 SiC 단일 크리스탈 성장 오븐의 핵심 강점은 고품질의 결함 없는 SiC 크리스탈을 생산할 수 있다는 것입니다.그리고 최첨단 저항 난방 기술, 우리는 각 크리스탈이 최소한의 결함 밀도를 가지고 결함이 없는 것을 보장합니다.이 완전성 은 심지어 가장 작은 불완전성 이 최종 장치 의 성능 에 영향을 줄 수 있는 반도체 애플리케이션 의 엄격 한 요구 를 충족 시키기 위해 필수적 이다.
반도체 표준을 충족
우리의 오븐에서 자라는 SiC 웨이퍼는 성능과 신뢰성 모두에 있어서 업계의 기준을 초과합니다.소변 밀도와 높은 전기 전도성, 고 전력, 고 주파수 반도체 장치에 이상적입니다. 이 품질은 전기 차량 (EV) 에 사용되는 것을 포함하여 다음 세대의 전력 장치에 중요합니다.신재생 에너지 시스템, 통신 장비.
ZMSH 서비스
ZMSH: 완전한 지원과 함께 사용자 정의 가능한 SiC 단일 크리스탈 성장 오븐
ZMSH에서, 우리는 당신의 특정 요구 사항을 충족하도록 맞춤화된 고급 SiC 단일 결정 성장 오븐을 제공합니다. 우리의 사용자 정의 옵션은 오븐이 당신의 생산 요구 사항에 완벽하게 적합하도록 보장합니다.,고품질의 SiC 크리스탈을 얻을 수 있도록 도와줍니다.
현장 설치 및 설정
저희 팀은 현장 설치를 담당하고 오븐이 통합되고 효율적으로 작동하는지 확인합니다.우리는 원활한 설치를 최저로 줄이고 생산 프로세스를 최적화하기 위해 우선 순위를 부여합니다.
종합적인 고객 교육
우리는 오븐 운영, 유지보수, 문제 해결 등에 대한 철저한 고객 교육을 제공합니다.우리의 목표는 효율적으로 오븐을 작동하고 최적의 크리스탈 성장을 달성하는 지식을 가진 팀에 장착하는 것입니다.
판매 후 유지보수
ZMSH는 당신의 오븐이 최고 상태로 유지되도록 유지 보수 및 수리 서비스를 포함하여 신뢰할 수있는 판매 후 지원을 제공합니다.우리 팀은 항상 다운타임을 최소화하고 지속적인 성공을 지원합니다..
질문 및 답변
Q;실리콘 카바이드의 결정 성장은 무엇입니까?
A: 실리콘 카바이드 (SiC) 결정 성장은 Czochralski 또는 물리적 증기 운송 (PVT) 과 같은 방법을 통해 고품질 SiC 결정의 생성 과정을 포함합니다.전력 반도체 장치에 필수적입니다..
주요 나무:SiC 단일 결정 성장 오븐 SiC 결정 반도체 장치크리스탈 성장 기술