|
상세 정보 |
|||
| 밀도: | 3.21g/cm ³ | 단단함: | 2500vickers 경도 |
|---|---|---|---|
| 결정립 크기: | 2 ~ 10μm | 화학적 순도: | 99.99995% |
| 열용량: | 640J · KG-1 · K-1 | 승화 온도: | 2700C |
제품 설명
웨이퍼 핸드의 제품 소개
SiC 웨이퍼 손은 높은 강도와 열 안정성을 가진 웨이퍼를 처리하기 위해 설계된 최종 효과기입니다. 밀도가 높고 고순도 실리콘 탄화물,우수한 기계적 강도를 제공합니다., 부식 저항성, 열 내구성 및 초정결 성능. 그것은 SiC, GaN,그리고 청결실과 고온 환경에서 사파이어.
웨이퍼 핸드의 구조와 작동 원리
SiC 웨이퍼 손은 포크 같은 구조 또는 사용자 정의 플랫폼을 사용하여 웨이퍼의 가장자리 또는 뒷면으로 웨이퍼를 지원합니다. 선택적 진공 흡수, 정렬 구간,또는 기계식 손잡이로 접촉 없이 또는 최소한의 접촉으로 전송할 수 있습니다.높은 구조적 딱딱성은 운송 중에 차원 안정성을 보장하며 정확한 웨이퍼 위치와 최소한의 오염 위험을 가능하게합니다.
웨이퍼 핸드의 응용 분야
웨이퍼 손은 다음과 같은 반도체 및 광전자 공정에서 널리 사용됩니다.
1웨이퍼 전송 시스템 (예: EFEM, FOUP 로더, SMIF 팟 인터페이스)
2리토그래피, 에치, 이온 이식, 열 처리를 위한 웨이퍼의 부하/부하
3웨이퍼 검사, 분류 및 분류 도구
4- 다이 접착, 조각, 포장 및 최종 테스트 스테이션
5디스플레이 패널, MEMS 및 바이오 칩 제조에서 정밀 처리
6.Si, SiC, GaAs, GaN, 사파이어 및 기타 기판에 적합합니다.
제품 장점W손
A: 2인치에서 12인치 웨이퍼를 지원합니다. 사용자 정의 크기도 있습니다.
Q2: 웨이퍼 손은 웨이퍼를 긁거나 오염시킬까요?
A: 아닙니다. 손은 입자가 적고, 마모에 견딜 수 있는 재료로 만들어져 있고, 가장자리가 칸막이가 되어 있고, 청정실의 규격이 있습니다.
Q3: 로봇 시스템과 통합될 수 있나요?
A: 예, 다양한 로봇 인터페이스를 지원합니다 (예: SECS / GEM, SEMI 표준) 특정 시스템에 맞게 사용자 정의 할 수 있습니다.
Q4: 예상 서비스 수명과 유지보수 요구 사항은 무엇입니까?
A: 최소한의 유지 보수와 함께 100만 회 이상 작동하도록 설계되어 있으며 주기적인 청소가 충분합니다.
Q5: 다른 웨이퍼 재료 (Si, SiC, 사파이어 등) 를 기반으로 사용자 정의 할 수 있습니까?
A: 예. 우리는 적절한 지원 구조와 함께 다양한 웨이퍼 재료에 최적화된 맞춤형 디자인을 제공합니다.
관련 제품
12인치 SiC 웨이퍼 300mm 실리콘 탄화물 웨이퍼 전도성 덤미 등급 N형 연구 등급