제품 개요 :

이것X- 선 결정 방향 기기X- 선 회절 기술을 사용하여 단결정로드의 기준 평면의 고정밀 정렬을 위해 설계되었습니다. 직경이 2, 4 및 6 인치 인로드의 1 차 결정 학적 평면 (일반적으로 <a>면)을 정렬 할 수 있습니다. 이 시스템은 C 또는 R 평면과 같은 표준 및 사용자 정의 방향을 모두 지원하므로 다양한 반도체 및 크리스탈 처리 응용 프로그램에 적합합니다.

주요 기능 :

• 안정적인 참조 플랫폼 :
  이 기계는 주 구조에 고정 된 단단한 기본 플랫폼을 특징으로하며 측정 중에 수평 기준으로 사용됩니다. 플랫폼의 오른쪽은 포지셔닝을 위해 설계되었으며 왼쪽에는 고정물과 결정을 단단히 고정하는 나사 잠금 클램핑 메커니즘이 포함되어 있습니다.

• <a> 평면의 정확한 방향 :
  이 시스템은 표준 θ 각도 18.917 ° (18 ° 55′00 ″)와 함께 <a> 기준면의 정확한 정렬을 가능하게합니다. 요청시 다른 결정 학적 방향을 수용하도록 요청시 대체 방향을 구성 할 수 있습니다.

• 사용자 친화적 인 작업 :

  • 기기 교정 :신뢰할 수있는 각도 정렬을 보장하기 위해 표준 결정 막대를 사용하여 수행됩니다.

  • 위치 및 스캔 :세척 후, 고정물은 플랫폼에 배치되고 X- 레이 빔이 원통형 표면을 조사 할 때까지 조정됩니다.

  • 피크 감지 :막대는 X- 선 노출로 천천히 회전합니다. μA 미터가 최대 판독 값에 도달하면 결정이 올바르게 정렬되고 제자리에 고정됩니다.

  • 그라인딩 준비 :정렬 된 결정을 제거하고 표면 처리를 위해 분쇄기로 직접 전달할 수 있습니다.

• 자동 수직 조정 :
  측정 프로세스 동안 편리한 높이 조정을 위해 자동 리프팅 기능을 지원합니다.

기술 사양 :

응용 프로그램 :

이 X- 선 배향 시스템은 웨이퍼 슬라이싱 또는 표면 처리 전에 정확한 결정 학적 정렬이 필요한 실리콘, 사파이어 및 복합 재료를 포함한 반도체 결정 제조에 사용하기에 이상적입니다. 또한 재료 과학 및 크리스탈 엔지니어링의 연구 개발도 지원합니다.

Q & A - 자주 묻는 질문

Q1 :이 X- 선 방향 기기와 어떤 종류의 결정이 호환됩니까?
A1 :이 기기는 실리콘, 사파이어, SIC (실리콘 카바이드), 간, 기타 화합물 반도체와 같은 다양한 단결정 재료와 호환됩니다. 2, 4 및 6 인치의로드 직경을 지원합니다.

Q2 : 기기가 <a> 평면 이외의 결정 방향을 측정 할 수 있습니까?
A2 :예, <a> 기준 평면 (θ = 18.917 °) 외에도 시스템은 고객 요구 사항에 따라 C 축 또는 R 축과 같은 다른 결정 학적 방향을 측정하도록 구성 할 수 있습니다.

Q3 : 기기는 어떻게 교정됩니까?
A3 :캘리브레이션은 인증 된 표준 크리스탈로드를 사용하여 수행됩니다. 이를 통해 생산 샘플을 처리하기 전에 시스템의 각도 정밀도 및 반복성을 보장합니다.

Q4 : 측정 프로세스가 자동 또는 매뉴얼입니까?
A4 : : A4 :이 시스템은 수동 배치 및 조정을 자동 셔터 제어 및 수직 리프팅을 포함한 자동화 된 기능과 결합하여 작동을 단순화하고 효율성을 향상시킵니다.

Q5 : X- 선 방사선을 처리하기 위해 어떤 안전 조치가 포함되어 있습니까?
A5 :이 기기는 저전력 X- 선 튜브를 사용하며 노출을 최소화하기 위해 차폐 조치를 포함합니다. 사용자는 항상 표준 방사선 안전 프로토콜에 따라 장비를 작동시키고 권장되는 현재 한계 2.0MA를 초과하지 않아야합니다.

Q6 : 장기 사용하려면 어떤 유지 보수가 필요합니까?
A6 :고정물과 플랫폼의 정기적 인 청소가 필수적입니다. X- 선 튜브, 탐지기 및 전기 연결에 대한 정기적 인 검사도 권장됩니다. 안전한 전류 범위 내에서 작동하여 X- 선 튜브 수명을 확장 할 수 있습니다.

Q7 : 클린 룸 환경에서 악기를 사용할 수 있습니까?
A7:예, 소형 설계 및 밀폐 된 구조는 클린 룸 응용 분야에 적합하며 적절한 취급 및 유지 보수가 관찰됩니다.

Q8 : 다른 결정 크기 또는 방향에 대해 사용자 정의를 사용할 수 있습니까?
A8 :예, 시스템은 요청시 다양한 크리스탈 크기, 특수 비품 디자인 또는 비표준 방향 각도를 지원하도록 사용자 정의 할 수 있습니다.

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