제품개요

3C-SiC, 또한알려진입방형 탄화규소 또는 β-SiC는 탄화규소의 중요한 다형입니다. 와 달리천하게4H-SiC와 6H-SiC를 사용하였고, 3C-SiC는 큐빅을 가지고 있습니다.결정구조를 갖추고 있으며 우수한 반도체, 열,기계적인그리고 화학적속성.

3C-SiC는 넓은 밴드갭, 높은 열전도율, 높은기계적인힘, 좋은 화학물질안정그리고유망한 전자 속성. MEMS, 센서, 전원 등에 널리 사용됩니다.장치연구, 광전자공학장치, 포토닉스, 에피택셜 연구 및 고온애플리케이션.

일반적인 3C-SiC 제품에는 3C-SiC 기판, Si 웨이퍼 위의 3C-SiC, 3C-SiC 박막 및 맞춤형 에피택셜 구조가 포함됩니다. 그 중 Si 상의 3C-SiC는 연구 및개발왜냐하면 그것은결합하다3C-SiC의 재료적 장점과 비용 및프로세스실리콘 기판의 호환성.

재료의 특징

큐빅결정구조

3C-SiC는 탄화규소의 입방형 다형입니다. 그것은결정구조는 4H-SiC 및 6H-SiC의 육각형 구조와 다릅니다. 이러한 특수한 구조로 인해 3C-SiC는고유한에피택셜의 장점성장, 인터페이스속성,전자성능과장치연구.

좋은전자 속성

3C-SiC는유망한 전자 속성고속에 적합한 것으로 간주됩니다.전자 장치, 높은-빈도 장치그리고 힘장치연구.

뛰어난 열 성능

3C-SiC는 열전도율이 좋아 다음과 같은 용도로 사용할 수 있습니다.애플리케이션 요구하는높은 열안정그리고효율적인전력과 같은 열 방출장치, RF장치, 광전자공학장치그리고 고온 센서.

고화학안정

3C-SiC는 좋다저항부식, 산화 및가혹한화학적인환경. 그것은 적합합니다가혹한-환경센서, 고온 MEMS장치그리고 특별하다산업의 애플리케이션.

좋은기계힘

3C-SiC는 경도가 높고,기계적인힘과 좋은 착용저항. 마이크로 용도로 사용할 수 있습니다.기계적인구조물, 압력 센서, 공진기, 캔틸레버 구조물 및 박막기계적인 장치.

호환 가능실리콘 기반프로세스

3C-SiC는 실리콘 기판에서 성장하여 Si 웨이퍼에서 3C-SiC를 형성할 수 있습니다. 이 구조는 도움이 됩니다.줄이다비용이 절감되고 호환성이 향상됩니다.성숙한실리콘 기반 반도체프로세스, MEMS, 센서 및 CMOS에 매력적입니다.호환 가능연구.

제품 유형

3C-SiC 기판

3C-SiC 기판은 재료 연구, 전력 장치 개발, 에피택셜 성장, 열 관리 및 새로운 광대역 간격 반도체 장치 연구에 적합합니다.

사용 가능한 옵션은 다음과 같습니다.

• N형 3C-SiC 기판
• 고저항 3C-SiC 기판
• 반절연 3C-SiC 기판
• 단면 연마 3C-SiC 웨이퍼
• 양면 연마 3C-SiC 웨이퍼
• 맞춤형 크기, 두께, 방향 및 저항력

Si 웨이퍼의 3C-SiC

3C-SiC on Si는 실리콘 기판 위에 성장한 3C-SiC 필름을 의미합니다. 이 제품은 Si 기판의 비용 이점과 3C-SiC의 뛰어난 특성을 결합하여 MEMS, 센서, 박막 장치 및 실리콘 기반 통합 연구에 적합합니다.

일반적인 구조는 다음과 같습니다.

• 3C-SiC/Si
• 3C-SiC / SiO2 / Si
• Si 기판 위의 3C-SiC 박막
• 맞춤형 버퍼층 구조
• 맞춤형 에피택셜 두께 구조

3C-SiC 박막

3C-SiC 박막은 마이크로/나노 제조, 에칭 연구, 센서 구조, 광자 플랫폼, 도파관 장치 및 박막 기계 테스트에 사용될 수 있습니다.

다양한 두께, 방향, 표면 거칠기 수준 및 기판 구조를 고객 요구 사항에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다.

맞춤형 에피택셜 구조

다양한 기판, 필름 두께, 도핑 유형, 저항률 범위 및 표면 처리 요구 사항을 포함한 고객 R&D 요구 사항에 따라 맞춤형 3C-SiC 에피택셜 구조를 제공할 수 있습니다.

일반적인 사양

제품 장점

고온 응용 분야에 적합

3C-SiC는 우수한 고온 안정성을 가지며 고온 센서, 고온 MEMS, 엔진 모니터링, 산업 제어, 항공우주 애플리케이션 및 열악한 환경 감지에 적합합니다.

MEMS 장치에 적합

높은 기계적 강도, 우수한 열 안정성 및 내식성으로 인해 3C-SiC는 고온 MEMS 및 열악한 환경 MEMS에 중요한 소재입니다. 압력 센서, 가스 센서, 공진기, 캔틸레버 구조 및 미세 기계 필름에 사용할 수 있습니다.

실리콘 기반 통합 연구에 적합

Si 기반 3C-SiC는 실리콘 기반 처리 기술과 결합할 수 있어 SiC 및 Si 공정 통합을 연구하는 대학, 연구 기관 및 기업 R&D 부서에 적합합니다.

광전자공학 및 광전자 장치에 적합

3C-SiC는 광전자 장치, 통합 광자 플랫폼, UV 검출기, 도파관 구조 및 새로운 반도체 광학 장치에 사용할 수 있습니다.

전력 반도체 연구에 적합

광대역 밴드갭 반도체 소재인 3C-SiC는 높은 항복 전계 강도, 높은 열 안정성 및 우수한 전자 특성을 제공합니다. 새로운 전력소자, MOS 구조, 소자 신뢰성 연구에 적합합니다.

맞춤형 요구사항 지원

웨이퍼 크기, 두께, 방향성, 전도성 유형, 에피택셜 구조 및 표면 처리 표준 등 고객 요구 사항에 따라 맞춤형 3C-SiC 제품을 제공할 수 있습니다.

주요 응용

MEMS 장치

• 고온 MEMS
• 압력 센서
• 가스 센서
• 가속도 센서
• 공명기
• 캔틸레버 구조
• 미세 기계적 박막 구조

광전자공학 및 광전자 장치

• UV 감지기
• LED 연구
• 광 도파관
• 통합 포토닉 플랫폼
• 양자 광소자
• 광결정 구조

센서 응용

• 고온 압력 센서
• 부식성 가스 센서
• 산업환경 센서
• 항공우주 센서
• 자동차 전자 센서
• 에너지 장비 모니터링 센서

에피택시 및 재료 연구

• SiC 에피택셜 성장 연구
• 3C-SiC 결함 연구
• 격자 불일치 연구
• 박막 스트레스 연구
• 헤테로에피텍셜 구조 연구
• 광대역갭 소재 연구

3C-SiC, 4H-SiC, 6H-SiC의 차이점

4H-SiC 및 6H-SiC는 일반적인 탄화규소 다형이며, 4H-SiC는 상용 전력 장치에 널리 사용됩니다. 이에 비해 3C-SiC는 입방체 결정 구조를 가지며 전자 이동성, 실리콘 기반 에피택셜 성장, MEMS 장치, 센서 및 박막 장치 연구에서 고유한 이점을 보여줍니다.

간단히 말하면:

• 4H-SiC는 성숙한 전력 장치에 더 일반적으로 사용됩니다.
• 6H-SiC는 일부 광전자공학, 기판 및 특수 응용 분야에 사용됩니다.
• 3C-SiC는 MEMS, Si 기반 에피택시, 센서, 박막 장치, 광자 장치 및 새로운 전력 장치 연구에 더 적합합니다.

따라서 3C-SiC는 단순히 4H-SiC를 대체하는 것이 아닙니다. 선택은 장치 구조, 공정 경로 및 연구 목적에 따라 다릅니다.

FAQ

1. 3C-SiC란?

입방형 탄화규소 또는 β-SiC라고도 알려진 3C-SiC는 입방형 결정 구조를 가진 다형 탄화규소입니다. 이는 우수한 열 안정성, 내화학성, 기계적 강도 및 반도체 특성을 제공합니다.

2. 3C-SiC와 4H-SiC의 차이점은 무엇인가요?

3C-SiC는 입방체 결정 구조를 가지고 있는 반면, 4H-SiC는 육각형 결정 구조를 가지고 있습니다. 4H-SiC는 상업용 전력 장치에 널리 사용되는 반면, 3C-SiC는 MEMS, 센서, Si 기반 에피택시, 박막 장치, 포토닉스 및 재료 연구에 일반적으로 사용됩니다.

3. 어떤 종류의 3C-SiC 제품을 제공할 수 있나요?

우리는 고객 요구 사항에 따라 3C-SiC 기판, Si 웨이퍼 위의 3C-SiC, 3C-SiC 박막 및 맞춤형 3C-SiC 에피택셜 구조를 제공할 수 있습니다.

회사 소개

ZMSH는 특수 광학 유리 및 새로운 크리스탈 소재의 첨단 기술 개발, 생산 및 판매를 전문으로 합니다. 당사의 제품은 광학 전자 제품, 가전 제품에 사용됩니다. 우리는 사파이어 광학 부품, 휴대폰 렌즈 커버, 세라믹, LT, 실리콘 카바이드 SIC, 석영 및 반도체 크리스탈 웨이퍼를 제공합니다. 숙련된 전문지식과 최첨단 장비를 바탕으로 비표준 제품 가공에 탁월한 능력을 발휘하여 선도적인 광전자재료 하이테크 기업을 목표로 하고 있습니다.

포장 및 배송 정보

포장 방법:

• 모든 품목은 안전한 운송을 위해 안전하게 포장되어 있습니다.
• 포장에는 정전기 방지, 충격 방지, 방진 재질이 사용되었습니다.
• 웨이퍼나 광학 부품과 같은 민감한 부품의 경우 클린룸 수준의 패키징을 채택합니다.

1. 제품 민감도에 따라 클래스 100 또는 클래스 1000 먼지 보호.
2. 특별한 요구 사항에 따라 맞춤형 포장 옵션을 사용할 수 있습니다.

배송 채널 및 예상 배송 시간:

• 우리는 다음을 포함하여 신뢰할 수 있는 국제 물류 제공업체와 협력합니다.

UPS, 페덱스, DHL

• 표준 리드 타임은 목적지에 따라 영업일 기준 3~7일입니다.
• 주문이 발송되면 추적 정보가 제공됩니다.
• 요청 시 빠른 배송 및 보험 옵션을 이용하실 수 있습니다.